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신뢰도 높은 위치 파악 및 웨이퍼 가공

모든 단계에 적용되는 안전성 높은 웨이퍼 가공

발루프 센서는 가공 작업 시 웨이퍼가 각각의 민감한 공정 단계로 안전하게 이동하도록 보조합니다. 발루프 센서는 정확한 장착 상태 체크, 위치 문의, 위치 파악 작업을 수행함으로써 노광에서부터 건식 식각, 세척 공정에 이르기까지 웨이퍼가 아무런 문제 없이 이동될 수 있도록 보장합니다. 설계 형태가 특별히 작은 경우라면 센서를 로봇에 통합할 수도 있습니다. 이를 통해 발루프는 장착 공간이 매우 협소할 때에도 신뢰도 높은 웨이퍼 감지 작업을 보장합니다.

적용 사례

웨이퍼의 장착 여부 점검
엔드 이펙터에 통합된 웨이퍼 감지
선형 위치 감지
FOUP 장착 여부 점검
유도식 저전압 센서를 이용한 위치 점검