Aanwezigheidscontrole door behuizingskanaal bij de vacuümkamer

Aanwezigheidscontrole door behuizingskanaal bij de vacuümkamer

Betrouwbare waferdetectie ook bij een zeer nauwe doorgang

De oplossing

Opto-elektronische sensoren BOH van Balluff maken zelfs door het nauwe behuizingskanaal bij de vacuümkamer een betrouwbare aanwezigheidscontrole van de wafers mogelijk. Ze beschikken over micro-optieken met klein lichtpunt. De afdichtfunctie veranderen we volgens uw individuele ontwerpspecificaties.

De bijzonderheden

  • micro-optieken met klein lichtpunt
  • robuuste roestvast stalen behuizing met afdichtfunctie naar individuele ontwerpspecificaties
  • voor vacuümtoepassingen tot 1x10-9 mbar
  • eenvoudige instelling op afstand door externe versterker
Betrouwbare waferdetectie ook bij een zeer nauwe doorgang
Download
Industrieteam
Heeft u vragen of wilt u advies? Ons industrieteam helpt u graag verder.