Aanwezigheids- en positiedetectie van wafers 'on blade'

Aanwezigheids- en positiedetectie van wafers 'on blade'

Twee alternatieve referentielichtstralen voor load-locksystemen

De oplossing

Onze opto-elektronische sensoren BOH detecteren betrouwbaar de aanwezigheid en positie van de wafers 'on blade'. En wel zonder dode zone. Dankzij hun ultraplatte inbouwhoogte kunnen de sensoren compact in uw systeem worden geïntegreerd.

De bijzonderheden

  • compact door het ultraplatte formaat (1,7 mm)
  • geen dode zone
  • uitgangs geoptimaliseerde PFFE-kabel
  • eenvoudige instelling op afstand door externe versterker
Aanwezigheids- en positiedetectie van wafers 'on blade'
Download
Industrieteam
Heeft u vragen of wilt u advies? Ons industrieteam helpt u graag verder.