Wafercentrering in de vacuümsluis

Wafercentrering in de vacuümsluis

Twee alternatieve referentielichtstralen voor load-locksystemen

De oplossing – variant 1

Een variant voor de implementatie van een referentielichtstraal voor de wafercentrering, wordt geboden door onze opto-elektronische sensoren BOH. Ze zijn leverbaar als inschroefuitvoering in robuuste roestvast stalen behuizing met afdichtfunctie en werken via micro-optieken met een klein lichtpunt. Het fijn instellen kunt u eenvoudig uitvoeren via een externe versterker.

De bijzonderheden

  • inschroefuitvoering
  • robuuste roestvast stalen behuizing met afdichtfunctie
  • micro-optieken met klein lichtpunt
  • voor vacuümtoepassingen tot 1x10-9 mbar
  • eenvoudige fijninstelling door externe versterker

De oplossing – variant 2

Ook kunt u gebruikmaken van onze diffuse sensoren of zender-ontvanger sensoren BOH met geïntegreerde micro-optiek, die we graag aanpassen aan uw individuele wensen.

De bijzonderheden

  • geïntegreerde micro-optiek voor uw individuele situatie
  • voor vacuümtoepassingen tot 1x10-9 mbar
referentielichtstraal voor de wafercentrering in de vacuümsluis (load-lock)
Download
Industrieteam
Heeft u vragen of wilt u advies? Ons industrieteam helpt u graag verder.