Centrowanie wafli krzemowych w śluzie próżniowej

Centrowanie wafli krzemowych w śluzie próżniowej

Dwie alternatywne fotokomórki referencyjne dla systemów Load-Lock

Rozwiązanie

Skutecznym rozwiązaniem do centrowania wafli krzemowych są nasze głowice optoelektroniczne BOH. Są one dostępne w wytrzymałej obudowie ze stali nierdzewnej z funkcją uszczelnienia Dodatkowo charakteryzują bardzo skupioną wiązką światła, gwarantującą precyzyjne wykrywanie. Regulację można przeprowadzać komfortowo za pomocą zewnętrznego wzmacniacza.

Najważniejsze cechy

  • Wytrzymała obudowa ze stali nierdzewnej z funkcją uszczelnienia.
  • Mikrooptyka ze skupioną wiązką świetlną.
  • Do zastosowań w próżni 1x10-9 mbar.
  • Prosta regulacja zdalna dzięki zewnętrznemu wzmacniaczowi.
Fotokomórka referencyjna do centrowania płytek półprzewodnikowych w śluzie próżniowej (Load-Lock)
Pobierz
Zespół branżowy
Masz pytania lub potrzebujesz porady? Nasz zespół do spraw branż czeka na Twoje zapytanie.