Высокоточные датчики для использования в вакууме
Высокоточные датчики для использования в вакууме

Высокоточные решения для использования в вакууме

Для непосредственного применения в условиях высокого-, ультравысокого и ультрачистого вакуума требуются датчики с исключительными конструктивными характеристиками. Мы предлагаем вкручиваемые модели с функцией герметизации и высокоточные оптоэлектронные датчики для установки в условиях высокого вакуума. При этом сигналы выводятся с помощью решения «Feed-through» по кабелепроводу из вакуумной камеры.

Примеры применения

  • Центровка полупроводниковой пластины в вакуумном шлюзе

    Два альтернативных опорных световых затвора для загрузочных шлюзов

    Решение – вариант 1

    В этом варианте для реализации опорного светового затвора с целью центровки полупроводниковой пластины применяются наши оптоэлектронные датчики BOH. Они выпускаются во вкручиваемом варианте в прочном корпусе из нержавеющей стали с функцией герметизации и посредством микрооптики работают с малой световой меткой. Точную юстировку можно выполнять с помощью внешнего усилителя.

    Особенности

    • вкручиваемое исполнение
    • прочный корпус из нержавеющей стали с функцией герметизации
    • микрооптика с малой световой меткой
    • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
    • простая дистанционная юстировка внешним усилителем

    Решение – вариант 2

    В альтернативном варианте можно использовать наши оптические переключатели или однонаправленные световые затворы BOH с интегрированной микрооптикой, которые мы готовы адаптировать к вашим требованиям.

    Особенности

    • встроенная микрооптика под ваши требования
    • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
    Опорный световой затвор для центровки полупроводниковых пластин в вакуумном шлюзе (Load-Lock)
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Контроль наличия и положения полупроводниковых пластин «on Blade»

    Два альтернативных опорных световых затвора для загрузочных шлюзов

    Решение

    Наши оптоэлектронные датчики BOH надежно распознают наличие и положение полупроводниковых пластин «on Blade». В частности, без зоны нечувствительности. Исключительно малая монтажная высота допускают компактную интеграцию в вашу систему.

    Особенности

    • компактная ультраплоская конструкция (1,7 мм)
    • отсутствие зоны нечувствительности
    • PTFE-кабель с оптимизированным газовыделением
    • простая дистанционная юстировка внешним усилителем
    Контроль наличия и положения полупроводниковых пластин «on Blade»
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Контроль наличия через канал корпуса к вакуумной камере

    Надежное распознавание полупроводниковых пластин даже в узких местах

    Решение

    Оптоэлектронные датчики BOH компании Balluff даже через узкий канал корпуса в вакуумной камере позволяют надежно контролировать наличие полупроводниковых пластин. Они оснащены микрооптикой с малой световой меткой. Функция герметизации реализуется в соответствии с индивидуальными требованиями.

    Особенности

    • микрооптика с малой световой меткой
    • прочный корпус из нержавеющей стали с функцией герметизации по индивидуальным требованиям
    • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
    • простая дистанционная юстировка внешним усилителем
    Надежное распознавание полупроводниковых пластин даже в узких местах
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.