Надежное определение положения при обработке полупроводниковых пластин
Надежное определение положения при обработке полупроводниковых пластин

Безоп.обр. полупр. пласт. – шаг за шагом

Наши датчики надежную транспортировку обрабатываемых полупроводниковых пластин через каждую из чувствительных технологических станций. Благодаря точному контролю наличия, запросу и определению положения датчики гарантирует отсутствие трения при транспортировке полупроводниковой пластины от участка литографии через участок сушки и травления на участок очистки. Особо малые типоразмеры гарантируют интеграцию датчиков в роботов. Это позволяет надежно распознавать полупроводниковые пластины даже в условиях недостаточного монтажного пространства.

Примеры применения

  • Контроль наличия пластин

    Два надежных варианта контроля наличия

    Решение – вариант 1

    Наши емкостные датчики BCS имеют монтажную высоту 2,5 мм и диаметр 18 мм. Это упрощает их интеграцию. Точная юстировка возможна с помощью отдельного усилителя.

    Особенности

    • очень малая монтажная высота (2,5 мм, диаметр 18 мм)
    • трехжильный соединительный провод высокой гибкости
    • диск из нержавеющей стали, активная поверхность из PTFE
    • простая дистанционная юстировка внешним усилителем

    Решение – вариант 2

    Наши оптоэлектронные датчики BOH имеют монтажную высоту всего 1,7 мм. Они легко интегрируются. Датчики поддаются дистанционной юстировке с помощью отдельного усилителя.

    Особенности

    • очень малая монтажная высота (2,5 мм, диаметр 18 мм)
    • трехжильный соединительный провод высокой гибкости
    • корпус из нержавеющей стали
    • инфракрасный свет
    • Выдерживает вакуум
    • простая дистанционная юстировка внешним усилителем
    Контроль наличия пластин
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Датчик пластин, встроенный в исполнительный орган

    Высокоточное распознавание по прецизионной световой метке

    Решение

    Наши оптоэлектронные датчики BOH встраиваются непосредственно в исполнительный орган и гарантируют высокоточное распознавание пластин. Для этого используются, прежде всего, световые затворы с микрооптикой, а также особо точная световая метка.

    Особенности

    • световые затворы с микрооптикой
    • особо точная световая метка
    • кабель датчика высокой гибкости, выдерживающий большие нагрузки
    Датчик пластин, встроенный в исполнительный орган
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Линейное определение положения

    Измерение с высочайшей точностью и скоростью

    Решение

    Для линейного определения положения прекрасно подойдут наши магнитные системы измерения линейного и углового перемещения BML: Измерительная система выполняет измерения с высокой точностью и скоростью, с разрешением до 1 мкм и точностью системы до +/–7 мкм. Система имеет бесконтактный принцип действия и совершенно не подвержена износу.

    Особенности

    • высочайшая точность (разрешение до 1 мкм) и скорость
    • точность системы до +/–7 мкм
    • отсутствие износа благодаря бесконтактному принципу действия
    • подходит для участков до 48 м
    Высочайшая точность и скорость при обработке полупроводниковых пластин
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Контроль наличия FOUP

    Надежный контроль с помощью светодиодной технологии

    Решение

    Наши оптоэлектронные датчики BOH оснащены светодиодами и функцией индивидуальной фокусировки и могут выпускаться в варианте светового затвора или оптического переключателя. Благодаря своей особо плоской конструкции они могут безболезненно интегрироваться в вашу технологическую цепочку.

    Особенности

    • светодиодная технология
    • компактность благодаря особо плоской конструкции
    • функция индивидуальной фокусировки
    • выпуск в виде светового затвора или оптического переключателя
    Контроль наличия FOUP с помощью светодиодной технологии
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.

  • Запрос положения с помощью индуктивных низковольтных датчиков

    Надежный запрос с помощью датчиков NAMUR

    Решение

    Наши индуктивные датчики NAMUR BES дают полную гарантию при обработке полупроводниковых пластин: Датчик соответствует рекомендация NAMUR и надежно распознает обрывы кабелей и короткие замыкания. Благодаря низкому энергопотреблению он характеризуется минимальным разогревом. Это позволяет избежать проблем при длительной эксплуатации.

    Особенности

    • минимальный разогрев вследствие низкого энергопотребления
    • возможность длительной эксплуатации
    • надежное распознавание обрывов кабелей и коротких замыканий
    • типоразмеры D4, D6,5, M5, M8 и 5x5
    Надежный запрос с помощью датчиков NAMUR при обработке полупроводниковых пластин
    Поиск подходящих продуктов Загрузка

    Команда промышленных специалистов

    У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.