Контроль наличия через канал корпуса к вакуумной камере

Контроль наличия через канал корпуса к вакуумной камере

Надежное распознавание полупроводниковых пластин даже в узких местах

Решение

Оптоэлектронные датчики BOH компании Balluff даже через узкий канал корпуса в вакуумной камере позволяют надежно контролировать наличие полупроводниковых пластин. Они оснащены микрооптикой с малой световой меткой. Функция герметизации реализуется в соответствии с индивидуальными требованиями.

Особенности

  • микрооптика с малой световой меткой
  • прочный корпус из нержавеющей стали с функцией герметизации по индивидуальным требованиям
  • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
  • простая дистанционная юстировка внешним усилителем
Надежное распознавание полупроводниковых пластин даже в узких местах
Загрузка
Команда промышленных специалистов
У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.