Центровка полупроводниковой пластины в вакуумном шлюзе

Центровка полупроводниковой пластины в вакуумном шлюзе

Два альтернативных опорных световых затвора для загрузочных шлюзов

Решение – вариант 1

В этом варианте для реализации опорного светового затвора с целью центровки полупроводниковой пластины применяются наши оптоэлектронные датчики BOH. Они выпускаются во вкручиваемом варианте в прочном корпусе из нержавеющей стали с функцией герметизации и посредством микрооптики работают с малой световой меткой. Точную юстировку можно выполнять с помощью внешнего усилителя.

Особенности

  • вкручиваемое исполнение
  • прочный корпус из нержавеющей стали с функцией герметизации
  • микрооптика с малой световой меткой
  • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
  • простая дистанционная юстировка внешним усилителем

Решение – вариант 2

В альтернативном варианте можно использовать наши оптические переключатели или однонаправленные световые затворы BOH с интегрированной микрооптикой, которые мы готовы адаптировать к вашим требованиям.

Особенности

  • встроенная микрооптика под ваши требования
  • для вакуумных систем до 1x10-9 мбар
Опорный световой затвор для центровки полупроводниковых пластин в вакуумном шлюзе (Load-Lock)
Загрузка
Команда промышленных специалистов
У вас есть вопросы или вам нужна консультация? Специалисты нашего промышленного отдела с удовольствием ответят на ваши вопросы.