Hög precision även mellan processtegen
Hög precision även mellan processtegen

Hög precision även mellan processtegen

Vid hantering av kiselplattor i EFEM-modulen, på ändeffektorn eller förjusteraren erbjuder Balluff alltid hög precision. Det krävs enorm noggrannhet för att tillförlitligt och exakt placera kiselplattan så att den är redo för nästa bearbetningssteg.

Våra givare och system finns i kompakt utförande och är lätta att integrera i maskinen även i krävande applikationer. Vid särskilt svåra förhållanden – alla ändeffektorer är olika – kan vi även erbjuda skräddarsydda tekniska lösningar för just era behov.

De beröringsfria mätprinciperna förhindrar nötning och säkerställer på så vis renrumsklassningen genom hela processen. Säkra era processer genom tillförlitlig övervakning av kiselplattehantering.

Exempel på applikationer

  • Känna av robotens läge

    Känna av robotens läge

    Lösning

    Använder ni flera lastportar? Eller kanske flera processkamrar? Använd då vårt mycket exakta magnetkodade positionsgivarsystem för att tillförlitligt övervaka era robotenheters rörelser. Det beröringsfria lägesgivarsystemet kontrollerar robotens position kontinuerligt. Därutöver går det att kapa magnetbandet efter behov. På så sätt kan ni använda systemet för moduler med flera olika typer av lastportar.

    Särskilda egenskaper

    • beröringsfritt, alltså förekommer ingen friktion eller separation
    • flexibel användning: 48 m långt magnetband som kan anpassas efter behov
    Känna av robotens läge
    Hitta passande produkter Nedladdningar

    Industriteamet

    Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

  • Övervaka robotens rotation säkert

    Övervaka robotens rotation

    Lösning

    Våra magnetkodade vinkelgivarsystem är optimala för absolut och exakt positionering av robotens ändeffektor. De kontrollerar robotaxelns rotationsrörelser, vilka transporterar ändeffektorn, placerar den i ändläget och slutligen lägger ner kiselplattan.

    Särskilda egenskaper

    • lätt att integrera, litet givarhuvud
    • perfekt för robotteknik tack vare sin låga vikt
    • stort avstånd mellan givare och ring: lätt att montera – hög driftsäkerhet
    Övervaka robotens rotation
    Hitta passande produkter Nedladdningar

    Industriteamet

    Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

  • Rikta in kiselplattan i förjusteringen

    Rikta in kiselplattan i förjusteringen

    Lösning

    För kiselplattan perfekt inriktat mot processkammaren för att placera den exakt i förjusteringen. Vi har en oöverträffad lösning för förjusteringen: en högupplöst ljusramp med exceptionell homogenitet. Ni kan då känna av Notch eller Flat, för att kunna centrera kiselplattan exakt. Dessutom kan ni integrera vår ljusramp alldeles perfekt i förjusteringen.

    Särskilda egenskaper

    • mycket exakt infraröd laser: högupplöst och ytterst homogen
    • uppfyll individuella krav med hjälp av olika ljusstrålar
    • intuitiv manövrering
    Rikta in kiselplattan i förjusteringen
    Hitta passande produkter Nedladdningar

    Industriteamet

    Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

  • Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor

    Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor

    Lösning

    Med våra avgasningsoptimerade, optiska och direktavkännande givare kan du kontrollera närvaron av kiselplattor på ändeffektorn helt tillförlitligt för att inte riskera att de går i kras. Våra direktavkännande givare integreras utan problem i ändeffektorn, även i de fall då den är oerhört tunn. De är nämligen endast 1,7 mm höga.

    Särskilda egenskaper

    • perfekt för ändeffektorn eftersom de är väldigt platta
    • avsedda för användning i renrum: avgasningsoptimerade!
    • enkelt fjärrjustering
    Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor
    Hitta passande produkter Nedladdningar

    Industriteamet

    Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

  • Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor

    Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor

    Lösning

    Ni kan även använda våra kapacitiva givare med PTFE-beläggning för att kontrollera om kiselplattan befinner sig på ändeffektorn. Dessa känner av riktigt tunna kiselplattor tillförlitligt, även om de hänger ner. De är endast 2,5 mm höga, vilket gör att de smidigt kan integreras i ändeffektorerna. Dess externa förstärkare gör det möjligt att fjärrstyra dem på ett enkelt sätt.

    Särskilda egenskaper

    • extremt platta – endast 2,5 mm höga
    • PTFE-höljet gör dem väl lämpade för olika typer av ytor
    • mycket exakta i små utrymmen
    Kontrollera närvaro av kiselplatta på ändeffektor
    Hitta passande produkter Nedladdningar

    Industriteamet

    Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

  • Läsa av kiselplattans position på ändeffektorn

    Läsa av kiselplattans position på ändeffektorn

    Lösning

    Vår induktiva givarteknik erbjuder ytterligare en metod för att kontrollera närvaron av kiselplattor på ändeffektorn, och samtidigt känna av dess exakta position. Våra kortslutningssäkra NAMUR-givare kan installeras bredvid varandra så att de även kan läsa av olika positioner. Med en storlek från Ø 4 mm kan de givetvis också integreras i ändeffektorn.

    Särskilda egenskaper

      • tillförlitlig avkänning av kabelbrott och kortslutningar
      • individuellt anpassningsbara och tillgängliga i olika utföranden
      • kan integreras i ändeffektorn
      Läsa av kiselplattans position på ändeffektorn
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Säker mappning av kiselplattor

      Säker mappning av kiselplattor

      Lösning

      Känn av kanterna på mikrometertunna kiselplattor med absolut säkerhet. Den kontrollerade och fokuserade ljusstrålen i våra Micromote-givare ger en enastående exakthet. Samtidigt garanterar de att hela Slots, dubbla kiselplattor eller sneda kiselplattor alltid upptäcks. Tack vare de flexibla kablarna och den kompakta designen får ni stor frihet vid konstruktionen.

      Särskilda egenskaper

      • enastående exakthet i små utrymmen – minimal öppningsvinkel
      • kan anpassas efter många olika ändeffektorer
      • modulärt system – perfekt för specifika mekaniska installationer
      Säker mappning av kiselplattor
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Spåra kiselplattshållare

      Spåra kiselplattshållare

      Lösning

      Spåra era kiselplattshållare med våra kameragivarsystem och se till att er process är transparent. Hållarna förses med streckkoder som systemet tillförlitligt läser av. På så sätt vet ni alltid om en kiselplatta redan har polerats och separerats.

      Särskilda egenskaper

      • tillförlitlig spårningslösning
      • enkel och intuitiv manövrering
      Spåra kiselplattshållare
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.