Tillförlitligt agerande i kemiska miljöer
Tillförlitligt agerande i kemiska miljöer

Tillförlitlig funktion i kemiska miljöer

För att kunna tillgodose de särskilda kraven vid halvledartillverkning erbjuder Balluff optimerade lösningar för våtkemiska processer. Särskilda PTFE-höljen ger tillförlitlig nivåkontroll till exempel vid etsning, rengöring av kiselplattan eller vid lackering och litografiframställning. Att processtemperaturen är den rätta håller våra temperaturgivare koll på. Med berörande givare övervakar du tillförlitligt temperaturerna vid bearbetning av kiselplattor.

Med vår givarteknik kontrollerar du också ventilrörelsen så att alla lager blir perfekta och exakt likadana.

Exempel på applikationer

  • Registrera nivån beröringsfritt genom behållarens vägg

    Registrera nivån beröringsfritt genom behållarens vägg

    Lösning

    Skapa en friktionsfri processkedja inom våtkemi, där ni garanterar en optimal fyllnadsnivå i tankarna för syror, lut och destillerat vatten med hjälp av våra kapacitiva givare. Dessa känner av fyllnadsnivån tillförlitligt genom glas- och plastväggar med en tjocklek på upp till 10 mm. För medier med hög ledningsförmåga, till exempel syror, använder ni våra exklusiva kapacitiva givare som kompenserar för skum och beläggningar.

    Särskilda egenskaper

      • för syror, lut, destillerat vatten och slam
      • utan bypass
      Registrera nivån beröringsfritt genom behållarens vägg
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Kontrollera nivån beröringsfritt vid bypassrören

      Kontrollera nivån beröringsfritt vid bypassrören

      Lösning

      Genom att använda bypassrör för nivåövervakning är det lätt att undvika både för låga nivåer och spill från tankar med aggressiva kemikalier på grund av överfyllning. Montera våra kompakta kapacitiva givare på bypassröret med buntband. Detta är både enkelt och kostnadseffektivt. För att kompensera för skum och beläggningar finns exklusiva varianter tillgängliga, vilka känner av medier med hög ledningsförmåga, som exempelvis lut.

      Särskilda egenskaper

      • för syror, lut, destillerat vatten och slam
      • Kompensation för skum och beläggningar med Smart Level-teknik
      Kontrollera nivån beröringsfritt vid bypassrören
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Känna av processvätskor med direkt mediekontakt

      Känna av processvätskor med direkt mediekontakt

      Lösning

      När behållarens vägg inte tillåter avkänning från utsidan är våra kapacitiva givare med PTFE-hölje rätt val. Dessa känner av nivån i medier med hög ledningsförmåga, som exempelvis syror och lut, direkt i processvätskan. På så vis kan etsning eller applicering av isolermedel, framställning av litografi eller kemisk-mekanisk polering och rengöring av kiselplattan sätta igång som planerat.

      Särskilda egenskaper

      • hög kemisk beständighet tack vare PTFE-hölje
      • för syror, lut, destillerat vatten och slam
      • Kompensation för skum och beläggningar med Smart Level-teknik
      Känna av processvätskor med direkt mediekontakt
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Känna av nivån kontinuerligt och beröringsfritt

      Känna av nivån kontinuerligt och beröringsfritt

      Lösning

      Måste ni hålla koll på nivån hela tiden? Med våra självhäftande, kapacitiva givarhuvuden med förstärkare är det inga problem: nivån känns av kontinuerligt, så att du med endast en givare får besked om avvikelser från min- eller max-värde samt information om nivån inom hela området. En praktisk detalj: du kan skära till det flexibla givarhuvudet så att det passar perfekt och sedan enkelt klistra fast det på väggen i tanken.

      Särskilda egenskaper

      • kontinuerliga mätningar och min- och maxnivå inom räckhåll
      • integrerad klisteryta
      • stort mätområde på 108–850 mm
      Känna av nivån kontinuerligt och beröringsfritt
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Direkt läckageövervakning

      Direkt läckageövervakning

      Lösning

      Med våra superkompakta kapacitiva givare håller du lätt koll på även de allra minsta läckagen. Med det medföljande fästet sätter du fast givaren 2 mm från verktygets botten och sedan behöver du bara ställa in givaren en gång. Om aggressiva kemikalier som till exempel fluorvätesyra läcker ut, kan nödvändiga åtgärder vidtas omedelbart.

      Särskilda egenskaper

      • enkel montering med medföljande hållare
      • tillförlitlig avkänning även av mycket små läckage
      • tillförlitlig avkänning av flera olika typer av kemikalier
      Direkt läckageövervakning
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Bibehålla kiselplattans temperatur under respektive processteg

      Bibehålla kiselplattans temperatur under respektive processteg

      Lösning

      Våra temperaturgivare med direkt mediekontakt hjälper er att upprätthålla processvätskornas temperatur i temperaturstyrda processer. Och detta i både flytande och gasformiga medier. Därutöver kan ni kontinuerligt kontrollera kritiska processtillstånd som exempelvis gränstemperaturer samt övervaka temperaturvärden. Dessa givare bidrar till ökad processäkerhet, oavsett användningsområde.

      Särskilda egenskaper

      • enkel montering, skruvas fast
      • mäter temperaturen direkt i flytande eller gasformiga medier
      • kompakt design
      Bibehålla kiselplattans temperatur under respektive processteg
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.

    • Tillförlitlig kontroll av flödesventil

      Tillförlitlig kontroll av flödesventil

      Lösning

      När ett mediums regelbundna flöde till processkammaren styrs via en ventil ska man kunna lita på ventilen. Slutligen bidrar också flödet till att upprätthålla en hög kvalitet i processen. Övervaka därför ventilen med våra induktiva givare. De är robusta och finns tillgängliga i utföranden så små som M5, vilket gör att de enkelt integreras i ventilen. För bästa möjliga tillförlitlighet.

      Särskilda egenskaper

      • lätta att integrera tack vare dess kompakta design
      • lampan syns bak på givaren efter monteringen
      • ingen extern förstärkare krävs
      Tillförlitlig kontroll av flödesventil
      Hitta passande produkter Nedladdningar

      Industriteamet

      Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.