Centrering av kiselplattan i vakuumslussen

Centrering av kiselplattan i vakuumslussen

Två olika fotoelektriska referensgivare för slussystem

Lösningen – Variant 1

Våra optoelektroniska givare BOH ger dig möjlighet att omvandla en fotoelektrisk referensgivare när du är i behov av centrering av kiselplattor. Givarna finns i skruvutförande med robust hölje av rostfritt stål med tätningsfunktion. Mikrooptikteknik med liten ljuspunkt. Finjusteringen sköter du lätt och smidigt via en extern förstärkare.

Särskilda egenskaper

  • skruvutförande
  • robust hölje i rostfritt stål med tätningsfunktion
  • mikrooptik med liten ljuspunkt
  • för vakuumapplikationer upp till 1x10-9 mbar
  • extern förstärkare för enkel fjärrinställning

Lösningen – Variant 2

Ett annat alternativ är våra direktavkännande givare eller fotoelektriska givare utan reflektor BOH med inbyggd mikrooptik, som vi gärna anpassar så att de passar just dina behov.

Särskilda egenskaper

  • integrerad mikrooptik som passar dina ramar
  • för vakuumapplikationer upp till 1x10-9 mbar
Fotoelektriska referensgivare för centrering av kiselplattor i vakuumslussar (load-lock)
Ladda ner
Industriteamet
Har du frågor eller funderingar? Vårt industriteam hjälper dig gärna.