Vysokopresné riešenia snímača na použitie vo vákuu
Vysokopresné riešenia snímača na použitie vo vákuu

Vysokopresné riešenia na použitie vo vákuu

Na priame použitie vo vysokom vákuu, ultravákuu a ultračistom vákuu sú potrebné snímače s mimoriadnymi konštrukčnými vlastnosťami. Na to vám ponúkame verzie s vonkajším závitom a tesniacou funkciou, ako aj vysokopresné optoelektronické snímače na inštaláciu vo vysokom vákuu. Signály sú pritom z vákuovej komory vyvedené pomocou riešenia „Feed-through“ cez káblovú priechodku elektrických vodičov.

Príklady aplikácií

  • Vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere

    Dve alternatívne referenčné svetelné závory pre systémy Load-Lock

    Riešenie – variant 1

    Jedným z variantov použitia referenčnej svetelnej závory na centrovanie waferov sú naše optoelektronické snímače BOH. Sú dostupné ako verzia s vonkajším závitom v robustnom telese z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou a pracujú pomocou mikrooptiky s malým svetelným bodom. Na jemné nastavenie môžete použiť komfortne externý zosilňovač.

    Zvláštnosti

    • verzia s vonkajším závitom
    • robustné teleso z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou
    • mikrooptiky s malým svetelným bodom
    • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
    • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču

    Riešenie – variant 2

    Alternatívne máte k dispozícii naše difúzne optické snímače alebo jednosmerné svetelné závory s integrovanou mikrooptikou, ktoré radi upravíme podľa vašich požiadaviek.

    Zvláštnosti

    • integrovaná mikrooptika pre váš individuálny rámček
    • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
    Referenčná svetelná závora na vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere (Load-Lock)
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Rozpoznávanie prítomnosti a polohy waferov „on Blade“

    Riešenie

    Naše optoelektronické snímače BOH spoľahlivo rozpoznajú prítomnosť a polohu waferov „on Blade“. A to bez oblasti necitlivosti. Ich ultraplochá montážna výška umožňuje priestorovo nenáročnú integráciu do vášho systému.

    Zvláštnosti

    • priestorová nenáročnosť vďaka ultraplochej konštrukčnej výške (1,7 mm)
    • žiadna oblasť necitlivosti
    • kábel PTFE optimalizovaný na odplyňovanie
    • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču
    Rozpoznávanie prítomnosti a polohy waferov „on Blade“
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Kontrola prítomnosti cez kanál telesa na vákuovej komore

    Spoľahlivé rozpoznávanie wafera aj pri extrémne malom priestore

    Riešenie

    Optoelektronické snímače BOH od spoločnosti Balluff umožňujú spoľahlivú kontrolu prítomnosti waferov aj cez úzky kanál telesa na vákuovej komore. Disponujú mikrooptikou s malým svetelným bodom. Tesniacu funkciu zabezpečíme podľa vášho individuálne určeného dizajnu.

    Zvláštnosti

    • mikrooptiky s malým svetelným bodom
    • robustné teleso z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou podľa individuálne určeného dizajnu
    • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
    • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču
    Spoľahlivé rozpoznávanie wafera aj pri extrémne malom priestore
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.