Spoľahlivá registrácia výrobkov pri spracovaní waferov
Spoľahlivá registrácia výrobkov pri spracovaní waferov

Bezpečné spracovanie. waferov – krok za krokom

Naše snímače sa postarajú o to, aby sa wafer pri vašom spracovaní spoľahlivo dostal cez každý z jednotlivých citlivých technologických krokov. Vďaka presnej kontrole prítomnosti, zisťovaniu polohy a jej registrácii snímače zabezpečia, aby sa wafer dostal plynulo z litografie cez suché leptanie až k čisteniu. Mimoriadne malé konštrukčné rozmery pritom umožňujú integráciu snímačov aj do robotov. Preto dokážeme zabezpečiť spoľahlivú identifikáciu wafera aj pri veľmi obmedzenom priestore na montáž.

Príklady aplikácií

  • Kontrola prítomnosti waferov

    Dva spoľahlivé varianty na kontrolu prítomnosti

    Riešenie – variant 1

    Naše kapacitné snímače BCS majú kompaktnú montážnu výšku 2,5 mm pri priemere 18 mm. Preto umožňujú perfektnú integráciu. Diaľkové nastavenie je možné pomocou samostatného zosilňovača.

    Zvláštnosti

    • kompaktná montážna výška (2,5 mm, priemer 18 mm)
    • vysokoflexibilné, trojžilové pripojovacie vedenie
    • kotúč z ušľachtilej ocele, aktívna plocha z PTFE
    • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču

    Riešenie – variant 2

    Naše optoelektronické snímače BOH majú extrémne kompaktnú montážnu výšku iba 1,7 mm. Umožňujú perfektnú integráciu. A dajú sa jemne nastavovať pomocou samostatného zosilňovača.

    Zvláštnosti

    • kompaktná montážna výška 1,7 mm
    • vysokoflexibilné, trojžilové pripojovacie vedenie
    • teleso z ušľachtilej ocele
    • infračervené svetlo
    • vhodné aj do vákua
    • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču
    Kontrola prítomnosti waferov
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Rozpoznávanie waferov integrované do koncového efektora

    Vysokopresné rozpoznávanie vďaka presnému svetelnému bodu

    Riešenie

    Naše optoelektronické snímače BOH sú integrované priamo v efektore a zaručujú vysokopresné rozpoznávanie waferov. O to sa stará najmä svetelná závora s mikrooptikou, ako aj mimoriadne presný svetelný bod.

    Zvláštnosti

    • svetelná závora s mikrooptikou
    • mimoriadne presný svetelný bod
    • vysokoflexibilné káble snímača umožňujúce vysoké zaťaženia
    Rozpoznávanie waferov integrované do koncového efektora
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Lineárne zaznamenanie polohy

    Meranie s najvyššou presnosťou a rýchlosťou

    Riešenie

    Naše magneticky kódované systémy na meranie dráhy a uhlov BML sú perfektným riešením pre lineárne zaznamenanie polohy: Merací systém meria s vysokou presnosťou a rýchlo, s rozlíšením do 1 μm a systémovou presnosťou +/-7 μm. Systém pracuje bezdotykovo, a preto nepodlieha žiadnemu opotrebeniu.

    Zvláštnosti

    • maximálna presnosť (rozlíšenie do 1 μm) a rýchlosť
    • systémová presnosť do +/-7 μm
    • žiadne opotrebenie z dôvodu bezdotykového princípu fungovania
    • hodí sa pre vetvy až do 48 m
    Maximálna presnosť a rýchlosť pri spracovávaní waferov
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Kontrola prítomnosti FOUP

    Spoľahlivá kontrola pomocou LED technológie

    Riešenie

    Naše optoelektronické snímače BOH sú vybavené LED technológiou, ako aj individuálnym ohniskom a sú voliteľne dostupné ako svetelná závora alebo difúzny optický snímač. Vďaka svojej mimoriadne plochej konštrukcii umožňujú priestorovo nenáročnú integráciu do technologického reťazca.

    Zvláštnosti

    • LED technológia
    • priestorová nenáročnosť vďaka plochej konštrukcii
    • individuálne ohnisko
    • dostupné ako svetelná závora alebo difúzny optický snímač
    Kontrola prítomnosti FOUP pomocou LED technológie
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.

  • Zisťovanie polohy pomocou indukčných nízkonapäťových snímačov

    Spoľahlivé zisťovanie pomocou snímačov NAMUR

    Riešenie

    Naše snímače NAMUR BES vnesú do vášho spracovania waferov istotu: Snímač zodpovedá odporúčaniam NAMUR a spoľahlivo rozpozná prerušenie kábla a skrat. Vďaka veľmi nízkemu odberu prúdu produkuje iba minimálne vlastné teplo. Preto bez problémov umožňuje nepretržité používanie.

    Zvláštnosti

    • minimálne vlastné teplo vďaka nízkemu odberu prúdu
    • umožňuje nepretržité použitie
    • spoľahlivo rozpozná prerušenie kábla a skrat
    • konštrukčné veľkosti D4, D6,5, M5, M8 a 5 x 5
    Spoľahlivé zisťovanie pomocou snímačov NAMUR pri spracovávaní waferov
    Vyhľadanie vhodných výrobkov Na stiahnutie

    Priemyselný tím

    Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.