Kontrola prítomnosti cez kanál telesa na vákuovej komore

Kontrola prítomnosti cez kanál telesa na vákuovej komore

Spoľahlivé rozpoznávanie wafera aj pri extrémne malom priestore

Riešenie

Optoelektronické snímače BOH od spoločnosti Balluff umožňujú spoľahlivú kontrolu prítomnosti waferov aj cez úzky kanál telesa na vákuovej komore. Disponujú mikrooptikou s malým svetelným bodom. Tesniacu funkciu zabezpečíme podľa vášho individuálne určeného dizajnu.

Zvláštnosti

  • mikrooptiky s malým svetelným bodom
  • robustné teleso z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou podľa individuálne určeného dizajnu
  • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
  • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču
Spoľahlivé rozpoznávanie wafera aj pri extrémne malom priestore
Na stiahnutie
Priemyselný tím
Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.