Vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere

Vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere

Dve alternatívne referenčné svetelné závory pre systémy Load-Lock

Riešenie – variant 1

Jedným z variantov použitia referenčnej svetelnej závory na centrovanie waferov sú naše optoelektronické snímače BOH. Sú dostupné ako verzia s vonkajším závitom v robustnom telese z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou a pracujú pomocou mikrooptiky s malým svetelným bodom. Na jemné nastavenie môžete použiť komfortne externý zosilňovač.

Zvláštnosti

  • verzia s vonkajším závitom
  • robustné teleso z ušľachtilej ocele s tesniacou funkciou
  • mikrooptiky s malým svetelným bodom
  • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
  • jednoduché diaľkové nastavenie vďaka externému zosilňovaču

Riešenie – variant 2

Alternatívne máte k dispozícii naše difúzne optické snímače alebo jednosmerné svetelné závory s integrovanou mikrooptikou, ktoré radi upravíme podľa vašich požiadaviek.

Zvláštnosti

  • integrovaná mikrooptika pre váš individuálny rámček
  • pre vákuové aplikácie do 1 x 10-9 mbar
Referenčná svetelná závora na vycentrovanie wafera vo vákuovom uzávere (Load-Lock)
Na stiahnutie
Priemyselný tím
Máte otázky alebo potrebujete poradiť? Náš priemyselný tím sa teší na vaše otázky.