適用於真空環境的精密感測器解決方案
適用於真空環境的精密感測器解決方案

適用於真空環境的精密解決方案

若要直接運用在高真空、超真空和超純真空環境,感測器必須具備特殊的結構特性。在這方面的應用,我們提供具備密封功能的旋入式規格以及高精密的光電感測器,以用於安裝於高真空環境。訊號會透過「饋通(Feed-through)」解決方案透過電線的套管從真空室導出。

應用範例

  • 晶圓在真空閘內置中

    兩個替代光柵的參考方案,用於 Load-Lock 系統

    解決方案 1

    本公司的 BOH 光電感測器是實現以一個參考光柵讓晶圓置中的一種方法。它是採用鎖入式設計,堅固耐用的不鏽鋼外殼具備密封功能,其運作是利用微光學技術,可看見小光點。您可以很方便地透過外部放大器進行遠端教導。

    特點

    • 鎖入式設計
    • 堅固耐用的不鏽鋼外殼具備密封功能
    • 採用微光學技術,可看見小光點
    • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
    • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導

    解決方案 2

    或者,本公司亦可為您提供:已整合微光學技術的擴散反射型光電感測器或 BOH 對照型光電感測器,我們很樂意針對您的個別需求調整產品設計。

    特點

    • 為您的客製外框整合微光學技術
    • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
    參考光柵可讓晶圓在真空閘內置中(Load-Lock)
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    工業團隊

    您有疑問或需要諮詢服務嗎?我們的工業團隊很樂意解答您的所有問題。

  • 「on Blade」晶圓的實物偵測和位置偵測

    兩個替代參考光柵,用於 Load-Lock 系統

    解決方案

    本公司的 BOH 光電感測器能夠可靠地識別「on Blade」晶圓實物和位置。毫無盲區。其安裝高度超扁平,在整合至您的系統內時可節省空間。

    特點

    • 外型超扁平,節省空間(總高僅 1.7 mm)
    • 毫無盲區
    • 最適合用於輸出的 PTFE 線
    • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導
    「on Blade」晶圓的實物檢控和位置偵測
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    工業團隊

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  • 從真空室的外殼通道進行實物偵測

    即使空間極小還是能夠可靠地偵測晶圓

    解決方案

    巴魯夫的 BOH 光電感測器透過真空室上的狹窄外殼通道就能可靠地對晶圓進行實物偵測。它採用微光學技術,可看見小光點。我們可依照您的個別設計規範更改密封功能。

    特點

    • 採用微光學技術,可看見小光點
    • 依照您的個別設計規範,在堅固耐用的不鏽鋼外殼加設密封功能
    • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
    • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導
    即使空間極小還是能夠可靠地偵測晶圓
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    工業團隊

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