處理晶圓時的可靠定位掌握
處理晶圓時的可靠定位掌握

安全的晶圓處理-逐步進行

我們的感測器負責在您的處理過程中讓晶圓安全且穩定地通過重要程序的每個步驟。感測器透過實物偵測、確認位置和定位掌控來確認,晶圓能順利地從光刻程序經乾蝕刻到清潔程序。特別小巧的外型設計能讓感測器與機器人完美整合。因此,即便安裝空間極小,我們也能確保可靠的晶圓偵測作業。

應用範例

  • 晶圓實物偵測

    實物偵測有兩種可靠做法

    解決方案- 版本 1

    本公司的 BCS 電容式感測器外型十分精巧,當直徑是 18 mm 時,其安裝高度為 2.5 mm。所以能夠完美地融進狹小空間內。可透過獨立的放大器進行遠端教導。

    特點

    • 十分精巧的安裝高度(2.5 mm,直徑 18 mm)
    • 極具彈性的三芯單頭連接線
    • 墊片為不鏽鋼材質,感應面為 PTFE 材質
    • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導

    解決方案- 版本 2

    本公司的 BOH 光電感測器擁有極為精巧的安裝高度,僅 1.7 mm。它能夠完美地融進狹小空間內。透過獨立的放大器就能輕鬆遠端教導。

    特點

    • 十分精巧的安裝高度(1,7 mm)
    • 極具彈性的三芯單頭連接線
    • 不鏽鋼外殼
    • 紅外線
    • 適合用於真空環境
    • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導
    晶圓實物檢控
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    工業團隊

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  • 晶圓偵測功能已整合在末端執行器內

    藉由精準的光點,偵測精確度極高

    解決方案

    本公司的 BOH 光電感測器是直接整合在末端執行器內,這個位置能確保晶圓偵測極為精準。這主要是依賴採用微光學技術的光柵以及極為準確的光點。

    特點

    • 採用微光學技術的光柵
    • 極為準確的光點
    • 極具彈性、可超高負載的感測器電線
    晶圓偵測功能已整合在端效器內
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  • 線性位置偵測

    測量迅速又極為精準

    解決方案

    針對線性位置偵測,本公司的 BML 磁編碼式位移及角度測量系統是完美的解決方案:此感測器的偵測非常精準又迅速,其解析度達 1 μm,而感測器準確度則為 +/–7 μm。此感測器以非接觸方式運作,且無耗損之虞。

    特點

    • 精準度超高(解析度至 1 μm)並且非常迅速
    • 感測器準確度為 +/–7 μm
    • 無耗損,因為採非接觸式工作原理
    • 適合用於 48 公尺以內的距離
    處理晶圓時極為精準又快速
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  • FOUP 實物偵測

    運用 LED 技術可靠地管控

    解決方案

    本公司的 BOH 光電感測器採用 LED 技術並具有獨立調焦功能,可選擇做為光柵或擴散反射型光電感測器。其外型極為扁平,可以很節省空間地融進加工流水線中。

    特點

    • LED 技術
    • 其外型極為扁平,節省空間
    • 獨立調焦
    • 可做為光柵或擴散反射型光電感測器
    運用 LED 技術的 FOUP 實物檢控
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  • 以電感式低壓感測器確認位置

    以 NAMUR 感測器可靠地進行確認

    解決方案

    本公司的 BES 電感式 NAMUR 感測器可讓您安全地處理晶圓:此感測器會遵循 NAMUR 的建議,可靠地偵測電線斷裂及短路。由於耗電量低,所以感測器只會些微發熱。因此即使持續使用,也不用擔心。

    特點

    • 耗電量低,僅些發熱
    • 可持續使用
    • 可靠地偵測電線斷裂和短路
    • 尺寸分為 Ø 4、Ø 6.5、M5、M8 及 5x5
    處理晶圓時,以 NAMUR 感測器可靠地進行確認
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