從真空室的外殼通道進行實物偵測

從真空室的外殼通道進行實物偵測

即使空間極小還是能夠可靠地偵測晶圓

解決方案

巴魯夫的 BOH 光電感測器透過真空室上的狹窄外殼通道就能可靠地對晶圓進行實物偵測。它採用微光學技術,可看見小光點。我們可依照您的個別設計規範更改密封功能。

特點

  • 採用微光學技術,可看見小光點
  • 依照您的個別設計規範,在堅固耐用的不鏽鋼外殼加設密封功能
  • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
  • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導
即使空間極小還是能夠可靠地偵測晶圓
下載
工業團隊
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