「on Blade」晶圓的實物偵測和位置偵測

「on Blade」晶圓的實物偵測和位置偵測

兩個替代參考光柵,用於 Load-Lock 系統

解決方案

本公司的 BOH 光電感測器能夠可靠地識別「on Blade」晶圓實物和位置。毫無盲區。其安裝高度超扁平,在整合至您的系統內時可節省空間。

特點

  • 外型超扁平,節省空間(總高僅 1.7 mm)
  • 毫無盲區
  • 最適合用於輸出的 PTFE 線
  • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導
「on Blade」晶圓的實物檢控和位置偵測
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