晶圓在真空閘內置中

晶圓在真空閘內置中

兩個替代光柵的參考方案,用於 Load-Lock 系統

解決方案 1

本公司的 BOH 光電感測器是實現以一個參考光柵讓晶圓置中的一種方法。它是採用鎖入式設計,堅固耐用的不鏽鋼外殼具備密封功能,其運作是利用微光學技術,可看見小光點。您可以很方便地透過外部放大器進行遠端教導。

特點

  • 鎖入式設計
  • 堅固耐用的不鏽鋼外殼具備密封功能
  • 採用微光學技術,可看見小光點
  • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
  • 透過外部放大器就能輕鬆遠端教導

解決方案 2

或者,本公司亦可為您提供:已整合微光學技術的擴散反射型光電感測器或 BOH 對照型光電感測器,我們很樂意針對您的個別需求調整產品設計。

特點

  • 為您的客製外框整合微光學技術
  • 適用於真空應用,1x10-9 mbar 以下
參考光柵可讓晶圓在真空閘內置中(Load-Lock)
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