Producten
- Uitstekende sensoren en netwerktechnologie voor de verpakkings-, voedingsmiddelen-, dranken-, farmaceutische en cosmetica-industrie
- Staal- en metaalverwerkende industrie
- Aandrijftechniek
- Mobiele arbeidsmachines
- Life science
- Metaalbewerking
- Automatisering in de halfgeleiderindustrie
- Automobielindustrie en toeleveranciers
- Vloeistoftechniek
- Kunststoffenindustrie
- Energieopwekking
- Intralogistieke automatisering: efficiëntie en doorvoer verbeteren
- Witgoed
- Elektronica-industrie
- Revolutie in de automatisering van batterijproductie: zorgen voor maximale efficiëntie en kwaliteit
- Bandenindustrie
- Verkeerstechniek
Automatisering in de halfgeleiderindustrie
Precisie voor halfgeleider-, zonne- en beeldschermproductie
Mobiele communicatie, Internet of Things, Smart Factory, Smart Home - al deze ontwikkelingen worden aangedreven door voortschrijdende digitalisering. De kern van al deze technologieën wordt gevormd doorhalfgeleiders, die als hoofdbestanddeel van microchips onmisbaar zijn geworden in de industrie.zijn onmisbaar geworden in de industrie. Naarmate de digitalisering voortschrijdt, stijgen ook de eisen die aan halfgeleiders worden gesteld. Chips moeten bijvoorbeeld steeds krachtiger worden. Tegelijkertijd moet bij de productie van halfgeleiders een uiterst complex en technologisch uiterst veeleisend proces economisch worden beheerst.
Balluff biedt u competente ondersteuning bij de verwerking van wafers in de chip- en zonne-energie-industrie en bij de productie van displays.
Automatiseringsoplossingen van Balluff voor de halfgeleiderindustrie
Individuele en veeleisende eisen vragen vaak om oplossingen op maat. Ons productassortiment biedt zowel standaardoplossingen als oplossingen op maat van Customer Design & Engineering (CDE).
Een uitzonderlijk hoge procesnauwkeurigheid wordt gegarandeerd met onze innovatieve en uiterst nauwkeurige opto-elektronische sensoren met MicroSPOT-technologie. De sensorkoppen en de externe evaluatie-eenheid kunnen eenvoudig in uw machines worden geïntegreerd.
Bovendien kunnen bepaalde sensoren dankzij hun speciale ontwerpkenmerken direct in vacuüm worden gebruikt.
Voor ruimte-kritische automatiseringstoepassingen bevat ons portfolio ook bijzonder compacte maar krachtige sensoren.
"De halfgeleiderindustrie is een cruciale hoeksteen in de wereld van vandaag en is de drijvende kracht achter innovatie in verschillende sectoren. Als Global Market Segment Manager is het mijn doel om voortdurend de ontwikkelingen in de markt te volgen, uw unieke vereisten in de halfgeleiderproductie te begrijpen en er zo voor te zorgen dat ons aanbod de beste resultaten oplevert in al onze use cases in deze industrie. Vandaag bedienen we al klanten uit het halfgeleiderproductiesegment op verschillende gebieden zoals waferhandling, waferverwerking of carrierhandling."
(Benjamin Renz, Global Market Segment Manager, Halfgeleiders & Elektronica)
Spotlight-toepassingen in de halfgeleiderindustrie
Lees meer over geselecteerde toepassingen die u inzicht geven in hoe specifieke uitdagingen in de halfgeleiderindustrie betrouwbaar en nauwkeurig worden opgelost met Balluff-componenten.
Meer toepassingsvoorbeelden voor uw individuele toepassingsgebied
Ontdek hoe Balluff oplossingen betrouwbaar uiterste precisie garanderen in elke kritische processtap van de halfgeleiderproductie.
Behandeling van wafers:
Hoge precisie, zelfs tussen processtappen
Voor de handling van wafers in de EFEM-module, bijvoorbeeld op de eindeffector of de vooruitlijner, biedt Balluff u hoge precisie. Want alleen met extreme nauwkeurigheid kunnen wafers nauwkeurig gepositioneerd worden wafers nauwkeurig gepositioneerd en betrouwbaar getransporteerd kunnen wordenen ze naar elke afzonderlijke bewerkingsstap voeren.
Onze sensoren en systemen zijn verkrijgbaar in kleine uitvoeringen voor eenvoudige integratie in de machine. Voor bijzonder moeilijke omstandigheden kunnen we onze technologie ook aanpassen aangepast aan uw eisen.
De contactloze meetprincipes voorkomen slijtage, zodat de cleanroomklasse gedurende het hele proces gewaarborgd blijft. Gebruik de betrouwbare bewaking van de waferbehandeling en stel uw proces veilig.
Verwerking van wafers:
Betrouwbaar werken in een chemische omgeving
Om aan de speciale eisen van de halfgeleiderproductie te voldoen, biedt Balluff u optimale oplossingen voor processen in de natte chemie. Speciale PTFE-behuizingen maken een betrouwbare niveauregeling mogelijk - bijvoorbeeld tijdens het etsen, het reinigen van wafers of het coaten en ontwikkelen in de lithografie. Onze temperatuursensoren zorgen ervoor dat ook de procestemperatuur correct is. Met de contactsensoren kunt u de temperaturen tijdens het waferproces betrouwbaar bewaken.
Met onze sensoren kunt u ook de slag van de klep regelen tijdens het waferproces, zodat u homogene en ideale lagen kunt produceren tijdens het afzetten.
Behandeling van dragers:
Precieze positionering zonder contact
Balluff systemen ondersteunen nauwkeurige en efficiënte handling van dragers- of de drager nu een FOUP of een SMIF pod is. Met onze systemen kunt u de bewegingen van de AMHS volgen tijdens het volautomatische transport van de dragers. En ze doen dit uiterst betrouwbaar, zowel op korte afstanden met RGV's als op lange afstanden met OHV's.
Tegelijkertijd zorgen de contactloze systemen voor een nauwkeurige positionering. Dit betekent dat uw wafers veilig naar elke bewerkingsstap gevoerd kunnen worden. Wrijving en splijten zijn geen probleem.
De systemen van Balluff garanderen ook end-to-end traceerbaarheid. Deze zorgen ervoor dat dede positie van de drager in realtime wordt gedocumenteerd in real time wordt gedocumenteerd.
Vacuümtoepassingen:
Procesbetrouwbaarheid ondersteunen
In de halfgeleiderindustrie worden wafers vaak in een vacuümomgeving verwerkt om een schone enschone en vervuilingsvrije omgeving verontreinigingsvrije omgeving.
Sensoren van Balluff worden gekenmerkt door uitstekende eigenschappen en ontwerpkenmerken waardoor ze direct in vacuüm gebruikt kunnen worden. Bijvoorbeeld voor onmiddellijke uitlijning in de vacuümsluis of voor het controleren van de aanwezigheid van wafers. We bieden inschroefversies met een afdichtfunctie en sensoren voor installatie direct in hoogvacuüm. We gebruiken voor uitgassing geoptimaliseerde materialen om de betrouwbaarheid van het proces te garanderen. Op uw verzoek kunnen we de sensoren ook vervaardigen in de materialen die u opgeeft. De sensorsignalen worden veilig naar buiten geleid via elektrische kabels met kabeldoorvoeringen.
Highlight producten voor de halfgeleiderindustrie
Ontdek gespecialiseerde producten die zijn ontwikkeld om te voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie. Of het nu gaat om precisie bij het in kaart brengen van wafers of om een bijzonder hoge robuustheid voor het bewaken van ALD-kleppen - onze producten helpen u om uw machinebeschikbaarheid te verhogen en de productkwaliteit te garanderen.
Laat ons het beste uit uw systemen halen
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Custom Design and Engineering – custom specific camera and sensor solutions
-
Inductive high temperature sensors in Ø 5 mm housing for tight spaces
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
-
BGL minislot miniaturized fork sensors from Balluff – flexible in the smallest space
-
Micromote – high optical performance in the smallest space
