Halfgeleiderindustrie

Mobiele communicatie – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Aan deze actuele ontwikkelingen ligt digitalisering ten grondslag. De basis wordt dus gevormd door halfgeleiders. De halfgeleiderindustrie is dus zonder twijfel toekomstgericht.

Met de digitale verandering worden tegelijkertijd ook steeds hogere eisen aan deze industrie gesteld. Chips zullen naar verwachting steeds krachtiger worden. Bij de productie van chips moet een zeer complex, technologisch zeer veeleisend proces kostenefficiënt worden afgehandeld.

Balluff biedt u competente ondersteuning bij de verwerking van wafers voor de chip- en zonne-industrie en bij de productie van displays. Met betrouwbare geminiaturiseerde oplossingen voor cleanroomtoepassingen – zoals bij de waferhandling of in agressieve chemische omgevingen. Dankzij onze uitgebreide en gefundeerde technische knowhow kunnen wij ook uw toepassingsspecifieke taken individueel oplossen.

Waferhandling: Uiterst nauwkeurig ook tussen de processtappen

Voor de waferhandling in de EFEM-module, zoals op de eindeffector of de pre-aligner, biedt Balluff u uiterste precisie. Want alleen met uiterste nauwkeurigheid kunnen wafers exact worden gepositioneerd en betrouwbaar aan elke afzonderlijke bewerkingsstap worden toegevoerd.

Onze sensoren en systemen zijn verkrijgbaar in kleine bouwvorm om de veeleisende integratie in de machine eenvoudig op te lossen. Voor bijzonder moeilijke omstandigheden - elke eindeffector ziet er immers anders uit - kunnen wij onze technologie ook individueel aan uw eisen aanpassen.

De contactloze meetprincipes voorkomen slijtage, zodat de cleanroomklasse gedurende het hele proces gegarandeerd blijft. Maak gebruik van de betrouwbare bewaking van de waferhandling en beveilig uw proces.

Waferverwerking: Betrouwbaar te werk gaan in een chemische omgeving

Om aan de speciale eisen bij de halfgeleiderproductie te voldoen, biedt Balluff u optimale oplossingen voor processen in de "natte chemie". Speciale PTFE-behuizingen maken een betrouwbare vulstandcontrole mogelijk - zoals bij het etsen, het reinigen van de wafers of het lakken en ontwikkelen in de lithografie. Dat daarbij de procestemperatuur ook klopt, is te danken aan onze temperatuursensoren. Want met de contactsensoren kunt u de temperaturen tijdens de verwerking van de wafers betrouwbaar bewaken.

Met onze sensoren controleert u ook de ventielslag, zodat u homogene en ideale lagen in de depositie kunt creëren.

Carrierhandling: Contactloos exact positioneren

Balluff-systemen ondersteunen een nauwkeurige en efficiënte carrierhandling - of het bij de carrier nu om een FOUP of een SMIF-Pod gaat. Met onze systemen kunt u de bewegingen van de AMHS tijdens het volautomatische transport van de carriers bewaken. En dit uiterst betrouwbaar, zowel over korte afstanden met RGV's als over lange afstanden met OHV's.

Tegelijkertijd zorgen de contactloze systemen voor een exacte positionering. Zo kunnen uw wafers veilig aan elke verwerkingsstap worden toegevoerd. Wrijving en afsplitsing zijn daardoor geen probleem.

Balluff-systemen garanderen bovendien een continue traceerbaarheid. Deze zorgen ervoor dat de carrierpositie in realtime wordt gedocumenteerd.

Vacuümtoepassing: Ter ondersteuning van de procesveiligheid

Balluff-sensoren bieden u dankzij bijzondere constructiekenmerken de mogelijkheid om ze direct onder vacuüm te gebruiken. Bijvoorbeeld als de wafer tijdens het uitlijnen snel in de vacuümsluis wordt gecentreerd of als de aanwezigheid van de wafer moet worden gecontroleerd.

Wij bieden inschroefuitvoeringen met afdichtingsfunctie en sensoren voor directe installatie in hoog vacuüm. Hun signalen worden veilig door middel van elektrische leidingen via kabeldoorvoeringen naar buiten geleid. Bijzonder interessant hierbij is: Omdat wij voor uitgassing geoptimaliseerde materialen voor de sensor gebruiken, blijft uw proces veilig. Daarnaast produceren wij de sensoren op uw verzoek ook in de door u voorgeschreven materialen.