Aanwezigheid van wafers op eindeffector controleren
Met onze voor uitgassing geoptimaliseerde optische diffuse sensoren controleert u de aanwezigheid van de wafer op de eindeffector absoluut betrouwbaar, zodat u niet bang hoeft te zijn voor crashes. Onze diffuse sensoren kunnen perfect worden geïntegreerd in de eindeffector, ook wanneer deze extreem dun is. Want hun inbouwhoogte is slechts 1,7 mm.
De bijzonderheden
- perfect voor de eindeffector, omdat ze uiterst plat zijn
- geschikt voor de cleanroom: geoptimaliseerd voor uitgassing!
- eenvoudige afstandsinstelling
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry