Aanwezigheid van wafers op eindeffector controleren

Als alternatief kunt u met onze capacitieve sensoren met PTFE-coating controleren of de wafer zich op de eindeffector bevindt. Deze detecteren ultradunne wafers uitermate betrouwbaar, ook wanneer deze doorhangen. Hun inbouwhoogte bedraagt slechts 2,5 mm, zodat een goede integratie in de eindeffectoren gegarandeerd is. Dankzij hun externe versterker kunnen ze eenvoudig op afstand worden ingesteld.

De bijzonderheden