Wafer tijdens pre-alignment uitlijnen

Voer uw wafers perfect uitgelijnd aan de proceskamer toe door ze bij de pre-alignment exact te positioneren. Voor optische pre-aligners bieden wij u een uitstekende oplossing: een lichtband met een hoge resolutie en een uitzonderlijke homogeniteit. Hiermee detecteert u ook een notch of flat om de wafer nauwkeurig te centreren. Bovendien kunt u onze lichtband perfect in uw pre-aligner integreren.

De bijzonderheden