Przemysł produkcji półprzewodników

Mobilna komunikacja – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Za tymi aktualnie rozwijającymi się dziedzinami kryje się digitalizacja. A wraz z nią półprzewodniki, będące jej sercem. Przemysł produkcji półprzewodników jest więc bez wątpienia dziedziną przyszłościową.

Wraz z postępującą cyfryzacją rosną również wymagania względem niego. Na przykład od chipów wymaga się, by były coraz bardziej wydajne. Produkcja chipów, będąca bardzo kompleksowym i wymagającym pod względem technologicznym procesem, ma być przy tym realizowana przy rozsądnych kosztach.

Firma Balluff zapewni Ci kompetentne wsparcie przy przetwarzaniu płytek półprzewodnikowych dla przemysłu produkcji chipów i paneli solarnych oraz przy produkcji wyświetlaczy. Za pomocą niezawodnych zminiaturyzowanych rozwiązań do zastosowań w pomieszczeniach sterylnych - jak przy produkcji płytek półprzewodnikowych, czy w agresywnym środowisku chemicznym. Dzięki naszej obszernej i ugruntowanej wiedzy technicznej zapewnimy również indywidualne rozwiązania dla zadań realizowanych w Twoich aplikacjach.

Manipulowanie płytkami półprzewodnikowymi: Wysoka precyzja również pomiędzy fazami procesu

Do manipulowania płytkami półprzewodnikowymi w module EFEM, jak na przykład na chwytaku czy w urządzeniu do wstępnego pozycjonowania, otrzymasz w firmie Balluff rozwiązania zapewniające wysoką precyzję. Bo przecież tylko przy zachowaniu najwyższej dokładności można precyzyjnie pozycjonować płytki półprzewodnikowe i niezawodnie doprowadzać do poszczególnych faz obróbki.

Nasze czujniki i systemy występują w zwartych formach konstrukcyjnych, aby w prosty sposób można było poradzić sobie z integracją w maszynie. Dla szczególnie trudnych warunków – w końcu każdy chwytak wygląda inaczej – możemy dostosować nasze urządzenia indywidualnie do Twoich wymogów.

Bezdotykowe zasady pomiaru zapobiegają powstawaniu ścieru, dzięki czemu klasa sterylności pozostaje zagwarantowana w całym procesie. Skorzystaj z niezawodnej kontroli manipulowania płytkami półprzewodnikowym i zadbaj o bezpieczeństwo swojego procesu.

Przetwarzanie płytek półprzewodnikowych: Niezawodne działanie w otoczeniu chemikaliów

Aby spełnić szczególne wymogi obecne przy produkcji półprzewodników, uzyskasz w firmie Balluff optymalne rozwiązania do procesów wykorzystujących mokrą chemię. Specjalne obudowy PTFE umożliwią Ci niezawodną kontrolę poziomu na przykład przy wytrawianiu, czyszczeniu płytek półprzewodnikowych czy lakierowaniu i wywoływaniu litografii. O to, by panowały przy tym odpowiednie warunki termiczne procesu, zadbają nasze czujniki temperatury. Na przykład za pomocą czujników dotykowych możesz niezawodnie nadzorować temperatury w procesie produkcji płytek półprzewodnikowych. Nasze czujniki kontrolują również skok zaworów, dzięki czemu w depozycji można wytwarzać idealne, jednorodne warstwy.

Manipulowanie nośnikami: Precyzyjne pozycjonowanie bezdotykowe

Systemy Balluff pomagają w precyzyjnym i efektywnym manipulowaniu nośnikami – niezależnie od tego czy chodzi o FOUP czy SMIF-Pod. Za pomocą naszych systemów możesz nadzorować ruch AMHS podczas całkowicie automatycznego transportu nośników. I to całkowicie niezawodnie zarówno na krótkich odcinkach za pomocą RGV jak i na długich odcinkach za pomocą OHV.

Ponadto systemy bezdotykowe zapewniają precyzyjne pozycjonowanie. Płytki półprzewodnikowe mogą być dzięki temu bezpiecznie doprowadzane do każdego etapu obróbki.

Tarcie i ścieranie materiału nie stanowią przy tym żadnego problemu. Systemy Balluff zapewniają ponadto możliwość ciągłego śledzenia. Dbają o to, aby pozycja nośnika dokumentowana była w czasie rzeczywistym.

Zastosowania próżniowe: W celu zwiększenia bezpieczeństwa procesowego

Dzięki nadzwyczajnym właściwościom konstrukcyjnym czujniki marki Balluff mogą być stosowane bezpośrednio w próżni. Na przykład wtedy, gdy płytka półprzewodnikowa przy pozycjonowaniu w locie centrowana jest w śluzie próżniowej, czy wtedy gdy skontrolowana ma zostać jej obecność. Dlatego dostępne są u nas wersje wkręcane z uszczelnieniem oraz czujniki do instalacji bezpośrednio w próżni wysokiej. Ich sygnały są bezpiecznie wyprowadzane za pośrednictwem przewodów elektrycznych przez dławik kablowy. Szczególnie interesujące jest przy tym to, że zastosowaliśmy do produkcji czujnika materiały zoptymalizowane pod względem wydzielania gazów, dzięki czemu Twój proces będzie nadal bezpieczny. Na życzenie możemy dodatkowo wykonać czujniki również z podanych przez Ciebie materiałów.