Semiconductores

Comunicação Móvel - Internet das Coisas - Fábrica Inteligente - Casa Inteligente. O que todos esses desenvolvimentos atuais têm em comum é a digitalização. Com os semicondutores como a base. Isso torna a indústria de semicondutores uma pioneira.

Mas a mudança para o digital impõe demandas ao setor ao mesmo tempo. Por exemplo, os chips precisam fornecer um desempenho cada vez maior. A produção de chips em si é um processo altamente complexo e tecnologicamente exigente ao extremo para dominar com eficiência de custos.

Quando se trata de processamento de wafers nas indústrias de chips e energia solar, bem como na produção de displays, a Balluff oferece suporte e orientação especializada.

Com soluções miniaturizadas confiáveis para aplicações em salas limpas - como no manuseio de wafer ou em ambientes químicos agressivos. Nosso conhecimento técnico abrangente e sólido nos permite também resolver seus desafios individuais e específicos da aplicação.

Manuseio de wafer: Alta precisão mesmo entre as etapas do processo

Quando se trata de manuseio de wafer no módulo EFEM, como no efetor final ou no pré-alinhador, a Balluff oferece alta precisão. Somente a extrema precisão permite que os wafers sejam posicionados com exatidão e transportados de forma confiável para cada etapa de processamento individual.

Nossos sensores e sistemas estão disponíveis em formatos compactos para atender facilmente aos requisitos exigentes de integração de máquinas. Quando as condições são especialmente desafiadoras - afinal, cada efetuador final é diferente - também podemos adaptar nossa tecnologia às suas necessidades individuais. Os princípios de medição sem contato evitam a abrasão, de modo que a classe da sala limpa pode ser mantida durante todo o processo. Use o monitoramento confiável do manuseio de wafer e proteja seu processo.

Processamento de Wafer: Processamento confiável em ambientes químicos

Para atender aos desafios especiais da produção de semicondutores, a Balluff oferece soluções ideais para processos químicos úmidos. As caixas de PTFE especiais permitem que você monitore os níveis - como durante a corrosão, limpeza de wafers ou revestimento e revelação em litografia. Nossos sensores de temperatura garantem que a temperatura do processo está correta. Porque esses sensores de contato permitem monitorar de forma confiável as temperaturas no processamento do wafer.

Com nossos sensores você também controla o curso da válvula, para que possa produzir camadas homogêneas e ideais na deposição.

Manuseio do transportador: Posicionamento exato, sem contato

Os sistemas Balluff oferecem suporte ao manuseio preciso e eficiente do transportador - seja um pod do tipo FOUP ou SMIF. Quando o transportador é transportado de forma totalmente automática, nossos sistemas monitoram os movimentos do AMHS. Com extrema confiabilidade, tanto em curtas distâncias com RGVs ou longas distâncias com OHVs.

Ao mesmo tempo, nossos sistemas sem contato fornecem um posicionamento exato. Suas bolachas são transportadas de maneira confiável para cada etapa do processamento. Abrasão e divisão não são um problema. Os sistemas Balluff também fornecem rastreabilidade consistente. Eles garantem que a posição do transportador seja documentada em tempo real.

Aplicações a vácuo: Ajudamos na segurança do processo

Os sensores da Balluff, com seus extraordinários recursos de design, permitem usá-los diretamente no vácuo. Por exemplo, durante o alinhamento em tempo real, quando o wafer está centralizado na trava de vácuo ou quando você precisa verificar sua presença.

Oferecemos versões de rosca com uma função de vedação, bem como sensores para instalação diretamente em alto vácuo. Seus sinais são transmitidos de maneira confiável através de cabos elétricos. E tome nota especial: como usamos materiais otimizados para eliminação de gases no sensor, seu processo permanece seguro. Se solicitado, também podemos produzir os sensores nos materiais que você especificar.