Polovodičový priemysel

Mobilná komunikácia – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Za týmito aktuálnymi výsledkami vývoja stojí digitalizácia. A teda aj polovodič ako jej základ. Polovodičový priemysel teda bez pochyby naznačuje budúcnosť.

S prechodom na digitalizáciu súčasne rastú aj požiadavky na ňu. Tak by napríklad čipy mali byť čoraz výkonnejšie. Pritom sa pri výrobe čipov musí tento vysokokomplexný, technologicky mimoriadne komplikovaný proces zvládnuť tak, aby náklady ostali efektívne.

Balluff poskytuje kompetentnú podporu pre spracovanie waferov z čipového a solárneho priemyslu, ako aj pre výrobu displejov. Vďaka spoľahlivým miniaturizovaným riešeniam pri používaní v sterilnom priestore – ako v prípade manipulácie s wafermi alebo v agresívnych chemických prostrediach. Vďaka nášmu rozsiahlemu a fundovanému technickému know-how môžeme individuálne vyriešiť aj vaše úlohy špecifické pre konkrétne aplikácie.

Manipulácia s wafermi: Vysoká presnosť aj medzi procesnými krokmi

Pre manipuláciu s wafermi v module EFEM, ako aj v koncovom efektore alebo predzrovnávači získate vďaka Balluff vysokú presnosť. Pretože len vďaka mimoriadnej presnosti je možné polohovať wafery presne, a privádzať ich ku každému jednotlivému obrábaciemu kroku.

Naše snímače a systémy sú k dispozícii v malých rozmeroch, aby jednoducho vyriešili náročnú integráciu do stroja. Pre mimoriadne presné podmienky – napokon, každý koncový efektor vyzerá inak – môžeme našu technológiu individuálne prispôsobiť vašim požiadavkám.

Bezdotykové meracie princípy zabránia obrúseniu tak, že počas celého procesu zostane zachovaná trieda sterilného priestoru. Využite spoľahlivé monitorovanie manipulácie s wafermi a zabezpečte svoj proces.

Spracovanie waferov: Spoľahlivé pôsobenie v chemickom prostredí

Na splnenie mimoriadnych požiadaviek pri výrobe polovodičov dodržiavajte v Balluff optimálne riešenia pre procesy v rámci chémie tekutých látok. Špeciálny kryty z PTFE vám umožnia spoľahlivú kontrolu stavu naplnenia – ako pri leptaní, čistení waferov alebo lakovaní a vývoji v litografii. Naše teplotné snímače zabezpečia, aby bola v poriadku aj procesná teplota. Pretože s dotykovými snímačmi spoľahlivo monitorujete teploty pri spracovávaní waferov.

S našou senzorikou kontrolujete aj zdvih ventilu tak, aby aj pri nanášaní materiálu mohli vznikať homogénne a ideálne vrstvy.

Manipulácia s nosičmi: Presné polohovanie bez dotyku

Systémy Balluff podporujú presnú a účinnú manipuláciu s nosičmi – nezávisle od toho, či ide o FOUP alebo SMIF Pod. S našimi systémami monitorujete pri plnoautomatickej preprave nosičov pohyby AMHS. A to mimoriadne spoľahlivo, tak na krátkych trasách s RGV, ako aj na dlhých trasách s OHV.

Zároveň zabezpečujú bezdotykové systémy presné polohovanie. Vaše wafery je tak možné privádzať ku každému obrábaciemu kroku. Trenie a oddeľovanie tak nie sú žiadny problém.

Systémy Balluff zaručujú navyše priebežnú spätnú vysledovateľnosť. Tieto systémy tak zabezpečujú, že poloha nosičov sa zdokumentuje v reálnom čase.

Použitie vo vákuu: Na podporu procesnej bezpečnosti

Snímače Balluff vám vďaka mimoriadnym konštrukčným charakteristikám poskytujú možnosť ich priameho použitia vo vákuu. Napríklad, keď sa wafer pri zrovnávaní „on the fly“ vycentruje vo vákuovom uzávere, alebo aj vtedy, keď sa má skontrolovať prítomnosť.

Tak máte u nás v dispozícii vyhotovenia na zaskrutkovanie s tesniacou funkciou, ako aj snímače na inštaláciu priamo vo vysokom vákuu. Ich signály sa vyvádzajú prostredníctvom elektrických vedení cez káblovú priechodku. Zaujímavý fakt: Na snímače používame materiály optimalizované na odplynenie, vďaka tomu je váš proces stále rovnako zabezpečený. Navyše na vaše želanie zhotovíme snímače aj z materiálov, ktoré si sami určíte.