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晶圓加工

在化學環境中可靠運行

在化學環境中可靠運行

為了滿足半導體生產中的特殊要求,巴魯夫為您提供濕化學工藝的最佳解決方案。特殊的 PTFE 外殼使您能夠可靠地監控填充水平 - 例如在蝕刻、清潔晶片或在光刻中上漆和顯影時。過程溫度是否正確取決於我們的溫度傳感器。因為使用觸摸傳感器,您可以在晶圓加工過程中可靠地監控溫度。

使用我們的傳感器,您還可以控制氣門升程,以便在沉積過程中創建均勻和理想的層。

應用實例