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在每個工藝步驟中保持晶圓溫度

在每個工藝步驟中保持晶圓溫度

我們與介質接觸的溫度傳感器可幫助您在溫控過程中保持過程介質的熱度。這在液體或氣體介質中。您可以控制關鍵過程狀態,例如限制溫度或持續監控溫度值。無論您選擇哪種應用,這些傳感器始終有助於提高過程可靠性。

特殊性

  • 通過旋入功能輕鬆組裝
  • 直接在液體或氣體介質中測量溫度
  • 緊湊的設計

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