Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen

Ob der Wafer auf dem Endeffektor liegt, können Sie alternativ mit unseren kapazitiven Sensoren mit PTFE- Beschichtung kontrollieren. Diese erfassen ultradünne Wafer ausgesprochen zuverlässig, auch wenn diese durchhängen. Ihre Einbauhöhe beträgt nur 2,5 mm, sodass die Integration in die Endeffektoren gut gelingt. Durch ihren externen Verstärker ist es möglich, diese einfach fernzujustieren.

Die Besonderheiten