Wafer-Anwesenheit auf Endeffektor prüfen
Mit unseren ausgasungsoptimierten optischen Lichttastern prüfen Sie die Anwesenheit des Wafers auf dem Endeffektor absolut verlässlich, sodass Sie Crashes nicht befürchten müssen. Unsere Lichttaster lassen sich perfekt in den Endeffektor integrieren, auch wenn dieser extrem dünn ist. Denn ihre Einbauhöhe ist mit nur 1,7 mm sehr gering.
Die Besonderheiten
- perfekt für den Endeffektor, da extrem flach
- für den Reinraum geeignet: ausgasungsoptimiert!
- einfache Fernjustage
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie