Wafer-Anwesenheit erkennen

Für einen sicheren Prozess kontrollieren Sie die Anwesenheit eines Wafers oder eines Carriers mit unseren ausgasungsoptimierten Lichttastern. Die Infrarotlicht-Sensoren mit externem Verstärker sind für den Einsatz im Vakuum geeignet. Ihre ultraflache Bauform mit nur 1,7 mm und kleiner Angriffsfläche sind für den begrenzten Platz in der Vakuumkammer perfekt.

Die Besonderheiten