Wafer-Anwesenheit prüfen
Unsere optoelektronischen Sensoren mit abgesetzter Elektronik erfassen durch spezielle Optiken mit kleinem Lichtpunkt die Präsenz eines Wafers oder Carriers durch einen Sichtkanal. Die für das Vakuum ausgelegten Lichttaster im Edelstahlgehäuse schrauben Sie einfach in Ihre Prozesskammer ein. Damit ist die Kammer abgedichtet und eine Kabeldurchführung nicht mehr notwendig.
Die Besonderheiten
- Mikrooptiken mit kleinem Lichtpunkt
- robustes Edelstahlgehäuse mit Dichtfunktion
- für Vakuumanwendungen bis 1 × 10–9 mbar
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
