Wafer im Pre-Alignment ausrichten

Führen Sie Ihre Wafer perfekt ausgerichtet der Prozesskammer zu, indem Sie diese im Pre-Alignment exakt positionieren. Für optische Pre-Aligner erhalten Sie bei uns eine hervorragende Lösung: ein hochauflösendes Lichtband mit außergewöhnlicher Homogenität. Damit erfassen Sie auch Notch oder Flat, um den Wafer genau zu zentrieren. Zusätzlich können Sie unser Lichtband ideal in Ihrem Pre-Aligner integrieren.

Die Besonderheiten