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Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten

Wafer-Temperatur bei jedem Prozessschritt einhalten

Unsere medienberührenden Temperatursensoren unterstützen Sie, den Wärmegrad Ihrer Prozessmedien in temperaturgesteuerten Prozessen einzuhalten. Und dies in flüssigen oder gasförmigen Medien. Dabei können Sie kritische Prozesszustände wie Grenztemperaturen kontrollieren oder auch Temperaturwerte kontinuierlich überwachen. Für welchen Einsatz Sie sich auch immer entscheiden, in jedem Fall tragen diese Sensoren zur Prozesssicherheit bei.

Die Besonderheiten

  • einfache Montage durch Einschraubfunktion
  • Temperatur direkt in flüssigen oder gasförmigen Medien messen
  • kompakte Bauformen

Downloads

  • Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
Energy consumption labeling
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EPREL - European Product Database for Energy Labeling

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Balluff GmbH

Zabergäustraße 8
73765 Neuhausen a.d.F.

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