Captura de líquidos de proceso en contacto con el medio
Procesado de obleas: control de nivel en un entorno químico
La fabricación de semiconductores implica muchos procesos húmedos, como la limpieza con agua ultrapura, que se realiza varias veces a lo largo del ciclo de producción. Otros procesos, como el grabado, requieren productos químicos agresivos. Sea cual sea el proceso, los líquidos necesarios deben almacenarse en depósitos y sus niveles deben controlarse.
Sin embargo, medir el nivel de productos químicos corrosivos puede suponer un reto especial para los sensores. Especialmente si la pared del tanque no permite la detección desde el exterior. En este caso, nuestros sensores capacitivos con carcasa recubierta de PTFE son la elección correcta. Estos pueden detectar el detectar el nivel de medios altamente conductores -como ácidos y álcalis- directamente en el líquido de proceso. Esto significa que el grabado, la aplicación de una resistencia, el desarrollo tras la litografía o el pulido químico-mecánico y la limpieza de la oblea pueden comenzar según lo previsto.
Los materiales de la carcasa de nuestros sensores de nivel son de acero inoxidable o plásticos resistentes a los productos químicos, como PTFE o PEEK, que son inertes y muy resistentes al calor inertes y muy resistentes al calor resistentes al calor. Incluso el control de nivel de medios muy agresivos puede resolverse en contacto con el medio, ya que nuestras carcasas especiales para sensores resisten los ácidos agresivos.
Por tanto, nuestros sensores húmedos son ideales para la automatización en la industria de semiconductores.
¿La norma no se ajusta del todo a sus necesidades? Además de nuestra amplia cartera de productos estándar, también ofrecemos soluciones personalizadas. Póngase en contacto con nosotros para hablar de sus requisitos.
Benjamin Renz, Director de Segmento de Mercado Global, Semiconductores y Electrónica
Características especiales
- Alta resistencia química gracias, por ejemplo, a la carcasa de PTFE
- para ácidos, álcalis, agua ultrapura y lodos
- Compensación de espuma y adherencias gracias a la tecnología Smart Level
- Detección precisa y fiable
Productos para el control de nivel en la industria de semiconductores
Permítanos obtener lo mejor de sus sistemas
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