Centrado de obleas con soluciones personalizadas

En la producción de semiconductores, el centrado preciso y fiable de las obleas es crucial en cada paso del proceso. Las obleas deben colocarse en las cámaras de proceso con extrema precisión y en una orientación específica. Dado que los efectores finales de los robots de manipulación no "agarran" realmente la oblea, sino que sólo la levantan, debe determinarse la posición exacta para el procesamiento. Esto es necesario para garantizar un procesamiento uniforme de la oblea y evitar errores como la extracción desigual o la deformación.

Con la ayuda de nuestras soluciones personalizadas, las obleas se puedenLas obleas pueden colocarse exactamente en la posición prevista. La alineación de la oblea sobre la marcha, por ejemplo, puede realizarse de forma extremadamente fiable con dos sensores fotoeléctricos Micromote. Sus señales de alta precisión permiten calcular el desplazamiento respecto a la línea ideal si las dos barreras de luz no se conmutan simultáneamente. Gracias a nuestra tecnología de micropuntos, puedecorregir la oblea durante el movimientoya que reconoce con precisión los bordes afilados de la oblea.

Para detectar el posicionamiento con la mayor precisión posible, nuestros amplificadores para cabezales sensores ópticos ayudan a los sensores a centrar las obleas con una frecuencia de conmutación especialmente alta.

Productos para el centrado de obleas

Permítanos sacar el máximo partido a sus sistemas