Détection de la présence de plaquettes
Pour un processus sûr, contrôlez la présence d'une plaquette ou d'un porte-plaquette avec nos détecteurs optiques à dégazage optimisé. Les capteurs à lumière infrarouge avec amplificateur externe sont adaptés à une utilisation dans le vide. Leur forme ultraplate avec seulement 1,7 mm et une petite surface d'appui les rendent parfaits pour l'espace restreint dans la chambre à vide.
Les particularités
- Peu encombrants grâce à une hauteur de construction ultraplate
- Pas de zone morte
- Très robustes, le boîtier étant en acier inoxydable
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