Détection des liquides de process en contact avec le produit

La fabrication de semi-conducteurs implique de nombreux processus humides, comme le nettoyage à l'eau ultrapure, qui est effectué plusieurs fois tout au long du cycle de production. D'autres processus, comme la gravure, nécessitent des produits chimiques agressifs. Quel que soit le procédé concerné, les liquides nécessaires doivent être stockés dans des réservoirs et leur niveau doit être surveillé.

La mesure du niveau de produits chimiques corrosifs peut toutefois représenter un défi particulier pour les capteurs. En particulier lorsque la paroi du réservoir ne permet pas une détection de l'extérieur. Dans ce cas, nos capteurs capacitifs avec boîtier revêtu de PTFE sont le bon choix. Ils peuvent détecter détecter le niveau de produits hautement conducteurs - comme les acides et les bases - directement dans le liquide de process. Ainsi, la gravure, l'application d'une réserve, le développement après la lithographie ou le polissage chimico-mécanique et le nettoyage de la plaquette peuvent commencer comme prévu.

Les matériaux du boîtier de nos capteurs de niveau sont en acier inoxydable ou en plastique chimiquement résistant comme le PTFE ou le PEEK, qui sont inertes et très résistants à la chaleur sont très résistants. Même le contrôle de niveau de produits très agressifs peut ainsi être résolu en contact avec le produit, car nos boîtiers de capteurs spéciaux peuvent résister aux acides agressifs.

Nos capteurs en contact avec le produit sont donc idéaux pour l'industrie de l'eau l'automatisation dans l'industrie des semi-conducteurs.

Produits pour le contrôle de niveau en contact avec le produit dans l'industrie des semi-conducteurs

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