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Préalignement des plaquettes

Aligner les plaquettes dans le dispositif de préalignement

Acheminez vos plaquettes parfaitement alignées à la chambre de processus, celles-ci étant positionnées avec précision dans le dispositif de préalignement. Pour les dispositifs de préalignement optiques, nous vous proposons une solution remarquable : une bande lumineuse haute résolution avec une homogénéité exceptionnelle. Cela vous permet également de détecter les encoches ou les méplats afin de centrer la plaquette avec précision. De plus, vous pouvez intégrer notre bande lumineuse de manière idéale dans votre dispositif de préalignement.

Les particularités

  • Laser à lumière rouge très précis : Haute résolution et homogénéité exceptionnelle
  • Résolution d'exigences individuelles via différentes longueurs d'onde
  • Utilisation intuitive

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  • Industry brochure semiconductor industry
Energy consumption labeling
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