Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen
Wenn die Behälterwand keine Detektion von außen erlaubt, sind unsere kapazitiven Sensoren im PTFE-Gehäuse die richtige Wahl. Diese erfassen den Füllstand hochleitfähiger Medien wie Säuren und Laugen direkt in der Prozessflüssigkeit. Dadurch kann beispielsweise das Ätzen oder das Aufbringen eines Resists, das Entwickeln nach der Lithographie oder das chemisch-mechanische Polieren und das Reinigen des Wafers wie geplant beginnen.
Die Besonderheiten
- hohe chemische Beständigkeit durch PTFE-Gehäuse
- für Säuren, Laugen, Reinstwasser und Slurry
- Schaum- und Anhaftungs- kompensation durch Smart Level Technologie
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie