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Automatisierung in der Halbleiterindustrie

Präzision für die Halbleiter-, Solar- und Displayfertigung

Lösungen für die Halbleiterindustrie

Mobile Kommunikation, Internet of Things, Smart Factory, Smart Home – all diese Entwicklungen werden durch die fortschreitende Digitalisierung vorangetrieben. Das Herzstück all dieser Technologien sind Halbleiter, die als Hauptbestandteil von Mikrochips unverzichtbar in der Industrie geworden sind. Mit dem digitalen Wandel steigen gleichzeitig auch die Anforderungen an die Halbleiter. So sollen beispielsweise Chips immer leistungs­fähiger werden. Gleichzeitig muss bei der Halbleiterherstellung ein hochkomplexer und technologisch äußerst anspruchsvoller Prozess wirtschaftlich beherrscht werden.

Balluff bietet Ihnen für die Prozessierung von Wafern der Chip- und Solarindustrie sowie für die Display-Produktion kompetente Unterstützung.

Automatisierungslösungen von Balluff für die Halbleiterindustrie

Individuelle und anspruchsvolle Anforderungen verlangen oft maßgeschneiderte Lösungen. Unsere Produktpalette bietet sowohl Standardlösungen als auch individuelle Lösungen aus dem Customer Design & Engineering (CDE).
Eine außergewöhnlich hohe Prozessgenauigkeit ist mit unseren innovativen und hochpräzisen optoelektronischen Sensoren mit MicroSPOT Technologie garantiert. Die mühelose Integration der Sensorköpfe und der externen Auswerteeinheit in Ihre Maschinen ist problemlos möglich.
Darüber hinaus ermöglichen die besonderen Konstruktionsmerkmale bestimmter Sensoren, diese im Vakuum direkt einzusetzen.
Für platzkritische Automatisierungsanwendungen umfasst unser Portfolio zudem besonders kompakte und dennoch leistungsstarke Sensoren.


„Die Halbleiterindustrie fasziniert mich durch ihre kontinuierliche Innovation und ihre Auswirkungen auf die Welt um uns herum. Als Key Account Managerin ist es mein Ziel, eng mit Ihnen zusammenzuarbeiten, um Ihre individuellen Anforderungen sowohl in der Fertigung von Halbleitern als auch in der Waferbearbeitung und im Handling zu verstehen. Gemeinsam entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen, die Ihre Herausforderungen in der gesamten Prozesskette der Halbleiterproduktion meistern.“

(Annika Schlecker, Key Account Managerin Life Science & Semiconductor)

Spotlight-Applikationen in der Halbleiterindustrie

Erfahren Sie mehr über ausgewählte Anwendungen, die Ihnen einen Einblick geben, wie spezifische Herausforderungen in der Halbleiterindustrie mit den Komponenten von Balluff zuverlässig und mit Präzision gelöst werden.


Weitere Applikationsbeispiele passend zu Ihrem individuellen Anwendungsbereich

Entdecken Sie, wie die Lösungen von Balluff in jedem kritischen Prozessschritt der Halbleiterherstellung zuverlässig für äußerste Präzision sorgen.

Wafer-Handling:
Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Für das Wafer-Handling im EFEM-Modul, wie auf dem Endeffektor oder dem Pre-Aligner, erhalten Sie bei Balluff Hochpräzision. Denn nur mit äußerster Genauigkeit lassen sich Wafer exakt positionieren und zuverlässig transportieren und jedem einzelnen Bearbeitungsschritt zuführen.

Unsere Sensoren und Systeme sind in kleinen Bauformen erhältlich, um die anspruchsvolle Integration in die Maschine einfach zu lösen. Für besonders schwierige Bedingungen passen wir unsere Technik auch individuell an Ihre Anforderungen an.

Die berührungslosen Messprinzipien vermeiden Abrieb, sodass die Reinraumklasse über den gesamten Prozess gewährleistet bleibt. Nutzen Sie die zuverlässige Überwachung des Wafer-Handlings und sichern Sie Ihren Prozess.


Wafer-Processing:
Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Um die besonderen Anforderungen bei der Halbleiterfertigung zu erfüllen, erhalten Sie bei Balluff optimale Lösungen für Prozesse in der Nasschemie. Spezielle PTFE-Gehäuse ermöglichen Ihnen die zuverlässige Füllstandskontrolle – wie beim Ätzen, beim Reinigen der Wafer oder dem Belacken und Entwickeln in der Lithographie. Dass dabei auch die Prozesstemperatur stimmt, dafür sorgen unsere Temperatursensoren. Denn mit den berührenden Sensoren überwachen Sie die Temperaturen beim Wafer-Processing zuverlässig.

Mit unserer Sensorik kontrollieren Sie beim Wafer-Processing auch den Ventilhub, sodass Sie in der Deposition homogene und ideale Schichten erzeugen können.


Carrier-Handling:
Berührungslos exakt positionieren

Balluff Systeme unterstützen das präzise und effiziente Carrier-Handling – ob es sich beim Carrier um einen FOUP oder einen SMIF-Pod handelt. Mit unseren Systemen überwachen Sie beim vollautomatischen Transport der Carrier die Bewegungen des AMHS. Und dies äußerst zuverlässig, sowohl auf Kurzstrecken mit RGVs als auch auf Langstrecken mit OHVs.

Gleichzeitig sorgen die berührungslosen Systeme für eine exakte Positionierung. Dadurch lassen sich Ihre Wafer sicher jedem Bearbeitungsschritt zuführen. Reibung und Abspaltung sind damit kein Problem.

Balluff Systeme gewährleisten darüber hinaus eine durchgängige Rückverfolgbarkeit. Diese stellen sicher, dass die Carrier-Position in Echtzeit dokumentiert wird.


Vakuum-Anwendungen:
Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

In der Halbleiterindustrie werden Wafer häufig in Vakuumumgebungen verarbeitet, um eine saubere und kontaminationsfreie Umgebung zu gewährleisten.​

Sensoren von Balluff zeichnen sich durch herausragende Eigenschaften und Konstruktionsmerkmale aus, die es ermöglichen, sie direkt im Vakuum einzusetzen. Zum Beispiel beim Alignment on the fly in der Vakuumschleuse oder zur Kontrolle der Wafer-Anwesenheit. Wir bieten Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie Sensoren zur Installation direkt im Hochvakuum an. Um die Prozesssicherheit zu gewährleisten, verwenden wir ausgasungsoptimierte Materialien. Auf Ihren Wunsch fertigen wir die Sensoren auch in den von Ihnen vorgegebenen Materialien. Die Signale der Sensoren werden sicher über elektrische Leitungen via Kabeldurchführungen herausgeführt. ​


Highlight Produkte für die Halbleiterindustrie

Entdecken Sie spezialisierte Produkte, die für die Anforderungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Ob durch Präzision beim Wafer-Mapping oder durch besonders hohe Robustheit für die Überwachung von ALD-Ventilen – unsere Produkte helfen Ihnen, Ihre Maschinenverfügbarkeit zu steigern und die Produktqualität zu sichern.

Lassen Sie uns das Beste aus Ihren Anlagen herausholen

Downloads

  • Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
  • Customer specific design – maßgeschneiderte Lösungen, die Ihre Anforderungen exakt erfüllen
  • Induktive Hochtemperatursensoren in M05 für geringen Bauraum
  • Mapping Sensor – präzise auf kleinstem Raum
  • Miniaturisierte Gabellichtschranken BGL Minislot – flexibel auf kleinstem Raum
  • Das Baukastensystem für außergewöhnliche Flexibilität

Haben Sie Fragen oder Anregungen? Wir sind für Sie da.

Sie haben mehrere Möglichkeiten mit uns in Kontakt zu treten. Wir freuen uns, Ihnen weiterhelfen zu können.

Kontaktieren Sie uns direkt per Telefon: +43 57887


Balluff GmbH

Sochorgasse 12-16
2512 Tribuswinkel

Kontakt via E-Mail:
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