Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen
Wafer-Processing: Füllstandskontrolle in chemischer Umgebung
Die Halbleiterherstellung umfasst viele Nassprozesse wie das Reinigen mit ultrareinem Wasser, das während des gesamten Produktionszyklus mehrfach durchgeführt wird. Andere Prozesse, wie das Ätzen, erfordern aggressive Chemikalien. Unabhängig vom jeweiligen Verfahren müssen die benötigten Flüssigkeiten in Tanks gelagert und deren Füllstand überwacht werden.
Die Messung des Füllstands von korrosiven Chemikalien kann jedoch eine besondere Herausforderung für Sensoren darstellen. Insbesondere, wenn die Behälterwand keine Detektion von außen erlaubt. In diesem Fall sind unsere kapazitiven Sensoren mit PTFE-beschichtetem Gehäuse die richtige Wahl. Diese können den Füllstand hochleitfähiger Medien – wie Säuren und Laugen – direkt in der Prozessflüssigkeit erfassen. So können das Ätzen, das Aufbringen eines Resists, das Entwickeln nach der Lithographie oder das chemisch-mechanische Polieren und das Reinigen des Wafers wie geplant beginnen.
Die Gehäusematerialien unserer Füllstandssensoren bestehen aus Edelstahl oder chemisch resistenten Kunststoffen wie PTFE oder PEEK, welche reaktionsträge und sehr hitzebeständig sind. Auch die Füllstandskontrolle sehr aggressiver Medien kann so medienberührend gelöst werden, da unsere speziellen Sensorgehäuse den aggressiven Säuren standhalten können.
Unsere medienberührenden Sensoren sind daher ideal für die Automatisierung in der Halbleiterindustrie.
Ihre Anwendung hat besondere Anforderungen? Wir bieten Ihnen neben unserem umfassenden Standardportfolio auch maßgeschneiderte Lösungen. Kontaktieren Sie mich, um Ihre Anforderungen zu besprechen.
Annika Schlecker, Key Account Managerin Life Science & Semiconductor
Die Besonderheiten
- hohe chemische Beständigkeit durch z.B. PTFE-Gehäuse
- für Säuren, Laugen, Reinstwasser und Slurry
- Schaum- und Anhaftungskompensation durch Smart Level Technologie
- präzise und zuverlässige Erfassung
Produkte für die medienberührende Füllstandskontrolle in der Halbleiterindustrie
Lassen Sie uns das Beste aus Ihren Anlagen herausholen
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