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Rotation des Roboters zuverlässig überwachen
Um den Endeffektor des Roboters absolut genau zu positionieren, sind unsere magnetkodierten Winkelmesssysteme ideal. Diese prüfen die rotativen Bewegungen der Robotergelenke, die den Endeffektor transportieren, ihn in seine Endposition bringen und den Wafer schließlich ablegen.
Die Besonderheiten
- einfach integrierbarer, kleiner Sensorkopf
- perfekt für Robotik, da geringes Gewicht
- großer Abstand zwischen Sensor und Ring: einfache Montage – hohe Betriebssicherheit
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
