Wafer-Anwesenheit prüfen

Unsere optoelektronischen Sensoren mit abgesetzter Elektronik erfassen durch spezielle Optiken mit kleinem Lichtpunkt die Präsenz eines Wafers oder Carriers durch einen Sichtkanal. Die für das Vakuum aus­gelegten Lichttaster im Edelstahlgehäuse schrauben Sie einfach in Ihre Prozesskammer ein. Damit ist die Kammer abgedichtet und eine Kabeldurchführung nicht mehr notwendig.

Die Besonderheiten