Wafer zentrieren mit maßgeschneiderten Lösungen
Wafer-Handling im Vakuum
In der Halbleiterfertigung ist das präzise und zuverlässige Zentrieren der Wafer in jedem Prozessschritt maßgebend. Die Wafer müssen in den Prozesskammern mit äußerster Genauigkeit und in einer bestimmten Ausrichtung positioniert werden. Da die Endeffektoren der Handling-Roboter den Wafer nicht wirklich "greifen", sondern nur anheben, muss zur Verarbeitung die genaue Position bestimmt werden. Dies ist notwendig, um eine gleichmäßige Bearbeitung des Wafers sicherzustellen und Fehler wie ungleichmäßige Abtragung oder Verformung zu vermeiden.
Mithilfe unserer maßgeschneiderten Lösungen können Wafer exakt an der vorgesehenen Position platziert werden. Das Alignment des Wafers on the fly können Sie beispielsweise mit zwei Micromote-Lichtschranken ausgesprochen sicher lösen. Ihre hochpräzisen Signale ermöglichen es, den Versatz zur Ideallinie zu berechnen, wenn die Schaltung der beiden Lichtschranken nicht simultan erfolgt. Dank unserer Microspot-Technologie können Sie den Wafer während der Bewegung korrigieren, da sie die scharfen Wafer-Kanten präzise erkennt.
Um die Positionierung so genau wie möglich zu erfassen, unterstützen unsere Verstärker für optische Sensorköpfe durch eine besonders hohe Schaltfrequenz die Sensoren bei dem Zentrieren der Wafer.
„Ihre Anwendung hat besondere Anforderungen? Wir bieten Ihnen neben unserem umfassenden Standardportfolio auch maßgeschneiderte Lösungen. Kontaktieren Sie mich, um Ihre Anforderungen zu besprechen.“
(Annika Schlecker, Key Account Managerin Life Science & Semiconductor)
Die Besonderheiten
- extrem fokussierter LED-Spot mit herausragender Homogenität
- kleinste, platzsparende Bauformen
- maßgeschneiderte Lösungen
Produkte für das Zentrieren von Wafern
Lassen Sie uns das Beste aus Ihren Anlagen herausholen
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Custom Design and Engineering – kundenspezifische Kamera- und Sensor-Lösungen.
