Wafer zentrieren

Das Alignment des Wafers on the fly können Sie mit zwei Micromote-Lichtschranken ausgesprochen sicher lösen. Ihre hochpräzisen Signale ermöglichen es, den Versatz zur Ideallinie zu berechnen, wenn die Schaltung der beiden Lichtschranken nicht simultan erfolgt. Dank unserer Microspot-Technologie können Sie den Wafer während der Bewegung korrigieren, da sie die scharfen Wafer-Kanten präzise erkennt.

Die Besonderheiten