Prozessflüssigkeiten medienberührend erfassen

Wenn die Behälterwand keine Detektion von außen erlaubt, sind unsere kapazitiven Sensoren im PTFE-Gehäuse die richtige Wahl. Diese erfassen den Füllstand hoch­leitfähiger Medien wie Säuren und Laugen direkt in der Prozess­flüssigkeit. Dadurch kann beispielsweise das Ätzen oder das Auf­bringen eines Resists, das Entwickeln nach der Lithographie oder das chemisch-mechanische Polieren und das Reinigen des Wafers wie geplant beginnen.

Die Besonderheiten