Halbleiterindustrie

Mobile Kommunikation – Internet of Things – Smart Factory – Smart Home. Hinter diesen aktuellen Entwicklungen steht die Digitalisierung. Und damit Halbleiter als ihr Herzstück. Die Halbleiterindustrie ist also zweifelsohne zukunftsweisend.

Mit dem digitalen Wandel steigen gleichzeitig auch die Anforderungen an sie. So sollen beispielsweise Chips immer leistungs­fähiger werden. Dabei ist bei der Chip-Produktion ein hochkomplexer, technologisch äußerst anspruchsvoller Prozess kosteneffizient zu bewältigen.

Für die Prozessierung von Wafern der Chip- und Solarindustrie sowie für die Display-Produktion bietet Ihnen Balluff kompetente Unterstützung. Mit zuver­lässigen miniaturisierten Lösungen bei Anwendungen im Reinraum – wie beim Wafer-Handling oder in aggressiven chemischen Umgebungen. Durch unser umfassendes und fundiertes technisches Know-how können wir auch Ihre applikationsspezifischen Aufgaben individuell lösen.

Wafer-Handling: Hochpräzision auch zwischen den Prozessschritten

Für das Wafer-Handling im EFEM-Modul, wie auf dem Endeffektor oder dem Pre-Aligner, erhalten Sie bei Balluff Hochpräzision. Denn nur mit äußerster Genauigkeit lassen sich Wafer exakt positionieren und zuverlässig jedem einzelnen Bearbeitungsschritt zuführen.

Unsere Sensoren und Systeme gibt es in kleiner Bauform, um die anspruchsvolle Integration in die Maschine einfach zu lösen. Für besonders diffizile Bedingungen – schließlich sieht jeder Endeffektor anders aus – können wir unsere Technik auch individuell an Ihre Anforderungen anpassen.

Die berührungslosen Messprinzipien vermeiden Abrieb, sodass die Reinraumklasse über den gesamten Prozess gewährleistet bleibt. Nutzen Sie die zuverlässige Überwachung des Wafer-Handlings und sichern Sie Ihren Prozess.

Wafer-Processing: Zuverlässig agieren in chemischer Umgebung

Um die besonderen Anforderungen bei der Halbleiterfertigung zu erfüllen, erhalten Sie bei Balluff optimale Lösungen für Prozesse in der Nasschemie. Spezielle PTFE-Gehäuse ermöglichen Ihnen die zuverlässige Füllstandskontrolle – wie beim Ätzen, beim Reinigen der Wafer oder dem Belacken und Entwickeln in der Lithographie. Dass dabei auch die Prozess­temperatur stimmt, ist Sache unserer Temperatursensoren. Denn mit den berührenden Sensoren über­wachen Sie die Temperaturen beim Wafer-Processing zuverlässig.

Mit unserer Sensorik kontrollieren Sie auch den Ventilhub, sodass Sie in der Deposition homogene und ideale Schichten erzeugen können.

Carrier-Handling: Berührungslos exakt positionieren

Balluff Systeme unterstützen das präzise und effiziente Carrier-Handling – ob es sich beim Carrier um einen FOUP oder einen SMIF-Pod handelt. Mit unseren Systemen überwachen Sie beim vollautomatischen Transport der Carrier die Bewegungen des AMHS. Und dies äußerst zuverlässig, sowohl auf Kurzstrecken mit RGVs als auch auf Langstrecken mit OHVs.

Zugleich sorgen die berührungslosen Systeme für die exakte Positionierung. Ihre Wafer lassen sich dadurch sicher jedem Bearbeitungsschritt zuführen. Reibung und Abspaltung sind damit kein Problem.

Balluff Systeme gewährleisten darüber hinaus eine durchgängige Rückverfolgbarkeit. Diese stellen sicher, dass die Carrier-Position in Echtzeit dokumentiert wird.

Vakuum-Anwendung: Zur Unterstützung der Prozesssicherheit

Sensoren von Balluff bieten Ihnen durch außergewöhnliche Konstruktionsmerkmale die Möglichkeit, sie im Vakuum direkt einzusetzen. Beispielsweise, wenn der Wafer beim Alignment on the fly in der Vakuumschleuse zentriert wird, oder auch, wenn seine Anwesenheit kontrolliert werden soll.

So verfügen Sie bei uns über Einschraub-Ausführungen mit Dichtfunktion sowie über Sensoren zur Installation direkt im Hochvakuum. Deren Signale werden über elektrische Leitungen via Kabeldurchführung sicher herausgeführt. Ganz besonders interessant dabei: Da wir für den Sensor ausgasungsoptimierte Materialien verwenden, ist Ihr Prozess nach wie vor gesichert. Zusätzlich fertigen wir auf Ihren Wunsch die Sensoren auch in den von Ihnen vorgegebenen Materialien.